[实用新型]用于半导体测试的定位清洁装置有效
| 申请号： | 202021591971.5 | 申请日： | 2020-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN212905020U | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 卢红平;赵云峻;张鸿;卢发生 | 申请（专利权）人： | 上海泰睿思微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R31/26;B08B5/02 |
| 代理公司： | 上海唯源专利代理有限公司 31229 | 代理人： | 汪家瀚 |
| 地址： | 201306 上海市浦东新区中国（上海）自*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 半导体 测试 定位 清洁 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于半导体测试的定位清洁装置，其特征是：包括中空结构的定位块(1)，定位块(1)的一个面上形成有与产品结构相匹配的定位槽(11)，定位块(1)安装在测试座(2)上，使定位槽(11)位于测试探针(21)的上方；定位块(1)的侧部形成有进气孔(12)并外接供气设备，定位块(1)的另一个面上形成有面向测试探针(21)的吹气孔(13)，进气孔(12)、定位块(1)的中空腔体和吹气孔(13)形成吹气通道。
2.根据权利要求1所述的用于半导体测试的定位清洁装置，其特征是：所述的定位槽(11)和吹气孔(13)的尺寸均不小于测试探针(21)，且测试探针(21)位于定位槽(11)和吹气孔(13)在测试座(2)上的投影范围内。
3.根据权利要求1所述的用于半导体测试的定位清洁装置，其特征是：所述的定位块(1)上形成有定位槽(11)的一面贴合在测试座(2)上。
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