[实用新型]预冷盘开合装置

权利要求书

1.一种预冷盘开合装置，其特征在于，所述预冷盘开合装置包括：

承座，具有导向部及容纳空间，所述容纳空间用于放置待测元件；所述承座的顶部设有敞开口；

开合机构，包括连接件、驱动件及开合门，所述开合门可移动地设于所述承座的导向部，所述连接件连接所述开合门，并连接所述驱动件，所述驱动件用于带动所述开合门遮蔽或打开所述承座的敞开口；及

浮动机构，包括浮动连接块，所述浮动连接块连接所述开合门及连接件，使所述连接件能够浮动。

2.根据权利要求1所述的预冷盘开合装置，其特征在于，所述连接件设有条孔；所述浮动连接块的一端部连接所述开合门，所述浮动连接块设于所述连接件的条孔内；

和/或，所述开合门设有安装槽，所述浮动连接块的一端部连接所述连接件，所述浮动连接块设于所述开合门的安装槽内。

3.根据权利要求2所述的预冷盘开合装置，其特征在于，所述条孔和所述安装槽均具有第一内壁及第二内壁，所述第一内壁的延长线与所述开合门的移动方向相交，所述第二内壁的延长线与所述开合门的移动方向相同；所述浮动连接块的侧部与所述条孔的第一内壁卡接，所述浮动连接块的端部与所述条孔的第二内壁具有间隔。

4.根据权利要求1所述的预冷盘开合装置，其特征在于，所述浮动连接块设有至少两个，所述浮动连接块相对设置，所述连接件的两侧与所述浮动连接块连接。

5.根据权利要求1所述的预冷盘开合装置，其特征在于，预冷盘开合装置还包括导向件，所述导向件沿所述开合门的移动方向设置，所述连接件滑动地连接于所述导向件。

6.根据权利要求1所述的预冷盘开合装置，其特征在于，所述导向部设有多个导槽，所述导槽沿所述承座的高度方向间隔设置；

所述开合门包括移动盖板及开合盖板，所述开合盖板及移动盖板滑动地设于不同的所述导槽内，所述开合盖板滑动地设于所述移动盖板上。

7.根据权利要求1所述的预冷盘开合装置，其特征在于，预冷盘开合装置还包括加热组件，所述加热组件设于所述承座，用于加热所述承座。

8.根据权利要求1所述的预冷盘开合装置，其特征在于，预冷盘开合装置还包括气接头，所述气接头设于所述承座的侧部；

预冷盘开合装置还包括分气板，所述分气板设有若干通气孔，所述分气板设于所述容纳空间内，所述分气板与所述气接头对应设置。

9.根据权利要求1至8任一项所述的预冷盘开合装置，其特征在于，所述连接件包括第一连接件及第二连接件，所述驱动件包括第一驱动件及第二驱动件，所述开合门包括第一开合门及第二开合门；

所述第一连接件连接所述第一开合门，并连接所述第一驱动件，所述第二驱动件设于所述第一连接件；所述第二连接件连接于所述第二驱动件，并连接所述第二开合门，所述第二驱动件能够驱动所述第二连接件。

10.根据权利要求9所述的预冷盘开合装置，其特征在于，所述第一驱动件包括驱动电机、同步带轮及传动连接所述同步带轮的同步带，所述同步带轮沿所述开合门的移动方向间隔设置，其中一个所述同步带轮连接于所述驱动电机的输出轴，所述第一开合门通过所述第一连接件连接所述同步带；

所述第二驱动件为气缸，所述气缸的缸体设于所述第一连接件，所述气缸的动力输出轴连接于所述第二连接件。