[实用新型]一种硅棒开槽用磨削装置

权利要求书

1.一种硅棒开槽用磨削装置，其特征在于，包括底座、设置于底座上用于夹持硅棒的硅棒夹持机构、设置于底座上用于实现硅棒夹持机构纵向进给的硅棒纵向移动机构、对应磨削工位设置的用于实现硅棒两侧面磨槽的磨槽组件、设置于底座上用于实现磨槽组件相对于磨削工位左右进给的磨槽进给机构，所述硅棒夹持机构与硅棒纵向移动机构连接，所述磨槽进给机构与磨槽组件连接，所述磨槽组件设置两组且对向设置于磨削工位的两侧。

2.根据权利要求1所述的硅棒开槽用磨削装置，其特征在于，所述硅棒纵向进给机构包括设置于底座上的纵向导轨、设置于纵向导轨上并可沿纵向导轨滑动的滑块、及驱动滑块沿纵向导轨移动的第一驱动电机，所述硅棒夹持机构与滑块连接且通过滑块沿纵向导轨前后进给。

3.根据权利要求2所述的硅棒开槽用磨削装置，其特征在于，所述纵向导轨的两端分别设置有用于防止滑块滑出纵向导轨的限位块。

4.根据权利要求2所述的硅棒开槽用磨削装置，其特征在于，所述硅棒夹持机构为夹紧气缸、分别与夹紧气缸及滑块连接的连接板，所述夹紧气缸设置于硅棒的顶部上方，所述夹紧气缸通过连接板与滑块固定连接且随滑块沿纵向导轨移动而移动，所述夹紧气缸的活塞端与硅棒的顶部顶持。

5.根据权利要求1所述的硅棒开槽用磨削装置，其特征在于，所述磨槽组件包括磨槽底座、设置于磨槽底座上的主轴、套接于主轴前端的开槽成型砂轮、以及用于驱动主轴旋转的旋转电机，所述磨槽底座与磨槽进给机构连接，所述旋转电机通过主轴驱动开槽成型砂轮旋转。

6.根据权利要求5所述的硅棒开槽用磨削装置，其特征在于，所述旋转电机的输出轴端通过多锲带传动带实现与主轴传动连接。

7.根据权利要求5所述的硅棒开槽用磨削装置，其特征在于，所述磨槽底座上对应磨槽工位设置有用于实现硅棒定位对中的硅棒定位装置。

8.根据权利要求5所述的硅棒开槽用磨削装置，其特征在于，所述开槽成型砂轮为金属结合剂金刚石砂轮。

9.根据权利要求2所述的硅棒开槽用磨削装置，其特征在于，所述磨槽进给机构包括滚珠丝杠、与滚珠丝杠连接用于驱动滚珠丝杠中滚珠螺母沿滚珠丝杆运动的第二驱动电机，所述滚珠螺母与磨槽底座固定连接实现磨槽进给机构驱动磨槽组件前后进给。

10.根据权利要求9所述的硅棒开槽用磨削装置，其特征在于，所述第一驱动电机及第二驱动电机均为伺服电机。