[实用新型]一种匀胶显影机用显影液自动配置系统

说明书

本实用新型公开了一种匀胶显影机用显影液自动配置系统，包括原液储罐、配比箱、显影液储罐、原液量瓶、纯水量罐和纯水储罐；原液储罐将原液加入到原液量瓶中，纯水储罐中的纯水加入到纯水量罐中，而原液量瓶和纯水量罐之间的体积比等于显影液中原液和纯水的体积比，这样满的原液量瓶和纯水量罐加入到配比箱中配置后再加入到显影液储罐中，该自动配置系统可以准确的将原液和纯水按照指定的比例配置，减少成本。

技术领域

本实用新型涉及一种显影液自动配置系统，尤其涉及一种用于匀胶显影机上使用的显影液自动配置系统。

背景技术

匀胶显影机是完成除曝光以外的所有光刻工艺的设备，包括光刻材料的涂布匀胶、烘烤、显影、清洗等。而在显影的工序中需要用到显影液。

目前的显影液主要是通过外购获得，而外购的显影液一般都是在工厂中就配置好的，其显影原液所占的体积百分比一般为2.383％-2.388％之间，也就是说，购买的显影液大部分的成分是水，而且在连续的显影过程中，显影液的使用量也非常大，导致购买的显影液的量比较大，需要比较大的容器来储存，这样，运输成本和存储成本均增加。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种匀胶显影机用显影液自动配置系统，该自动配置系统可以准确的将原液和纯水按照指定的比例配置，减少成本。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种匀胶显影机用显影液自动配置系统，包括原液储罐、配比箱、显影液储罐、原液量瓶、纯水量罐和纯水储罐；

所述原液储罐上设置有原液出口和原液回流入口；

所述原液量瓶的底部设置有原液入口和原液配置出口，原液量瓶的顶部设置有原液回流出口和第一补气口，所述原液入口和原液出口之间通过原液供应管路连通，所述原液回流出口和原液回流入口之间通过原液回流管路连通，所述第一补气口上设置有第一补气阀；

所述纯水储罐上设置有纯水出口和纯水回流入口

所述纯水量罐的底部设置有纯水入口和纯水配置出口，纯水量罐的顶部设置有纯水回流出口和第二补气口，所述纯水入口和纯水出口之间通过纯水供应管路连通，所述纯水回流出口和纯水回流入口之间通过纯水回流管路连通，所述第二补气口上设置有第二补气阀；定义原液量瓶的体积为V_原、纯水量罐的体积为V_水，所需配置的目标显影液的浓度为N％，满足一下关系式：

所述配比箱的位置低于原液量瓶和纯水量罐，所述配比箱上设置有纯水配置入口和原液配置入口，所述纯水配置入口和纯水配置出口之间通过带放水阀的纯水添加管道连通，所述原液配置入口和原液配置出口之间通过带放液阀的原液添加管道连通，所述配比箱的底部设置有显影液出口；

所述显影液储罐上设置有显影液入口和显影液供出口，所述显影液入口与显影液出口之间通过显影液供出管道连通；所述显影液供出口通过显影液供应管道与匀胶显影机的显影液使用管路连通。

作为一种优选的方案，所述原液储罐的上部、显影液储罐的上部和纯水储罐的上部均设置有加压口和排气管道，所述加压口连通有氮气加压管路，所述原液储罐、显影液储罐和纯水储罐利用加压的氮气将原液或显影液或纯水压出。

作为一种优选的方案，所述配比箱内还设置有对内部液体进行搅拌的搅拌装置。

作为一种优选的方案，所述搅拌装置包括设置于配比箱内的曝气主管，所述曝气主管连接有氮气供应系统，所述配比箱上还设置有排气口，排气口上安装有排气阀。

作为一种优选的方案，所述原液回流管路和纯水回流管路上均设置有液满传感器。

作为一种优选的方案，所述纯水添加管道和原液添加管道上均设置有液空传感器。

作为一种优选的方案，所述配比箱和显影液储罐内均设置有液位传感器。