[实用新型]一种适用于透明晶元的OF对准装置有效
| 申请号： | 202021538900.9 | 申请日： | 2020-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN212810241U | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 张俊杰 | 申请（专利权）人： | 上海图双精密装备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/68;G01B11/00 |
| 代理公司： | 上海汇齐专利代理事务所(普通合伙) 31364 | 代理人： | 童强 |
| 地址： | 200000 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 透明 of 对准 装置 | ||
1.一种适用于透明晶元的OF对准装置，包括卡座(1)，其特征在于，所述卡座(1)的内部设有装置槽(4)，所述装置槽(4)的内部设有待对准的晶圆本体(5)，所述卡座(1)的内部设有用于提供动力并带动晶圆本体(5)转动的驱动机构，所述卡座(1)的上端设有与驱动机构配合的用于对晶圆本体(5)进行对准的检测机构，所述卡座(1)的上端设有用于带动晶圆本体(5)移动的移位机构。
2.根据权利要求1所述的一种适用于透明晶元的OF对准装置，其特征在于，所述驱动机构包括设置于卡座(1)内部的装置腔(2)，所述装置腔(2)的内部设有用于提供动力的电机(3)，所述电机(3)的输出轴末端贯穿装置腔(2)的顶壁并延伸至装置槽(4)的内部，所述电机(3)的输出轴末端于装置槽(4)的内部固定连接用于用于带动晶圆本体(5)转动的放置台。
3.根据权利要求1所述的一种适用于透明晶元的OF对准装置，其特征在于，所述检测机构包括对称设置于卡座(1)内部的两个矩形槽(6)，其中一个所述矩形槽(6)的内部设有用于发出红外线的红外发射器(7)，另一个所述矩形槽(6)的内部设有与红外发射器(7)配合的红外接收器(8)。
4.根据权利要求1所述的一种适用于透明晶元的OF对准装置，其特征在于，所述移位机构包括设置于卡座(1)上方的用于吸附晶圆本体(5)的机械臂(9)，所述机械臂(9)的后端设有气动设备。
5.根据权利要求4所述的一种适用于透明晶元的OF对准装置，其特征在于，所述机械臂(9)的下端设有用于增加与晶圆本体(5)之间的气密性的气密垫(10)。
6.根据权利要求3所述的一种适用于透明晶元的OF对准装置，其特征在于，所述卡座(1)的外部设有与红外发射器(7)以及红外接收器(8)电性连接的数据分析设备。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
