[实用新型]一种红外热电堆传感器的测试装置有效
| 申请号: | 202021532916.9 | 申请日: | 2020-07-29 |
| 公开(公告)号: | CN212931678U | 公开(公告)日: | 2021-04-09 |
| 发明(设计)人: | 刘尧;凌方舟;蒋乐跃;储莉玲;苏云鹏 | 申请(专利权)人: | 美新半导体(天津)有限公司 |
| 主分类号: | G01J5/12 | 分类号: | G01J5/12;G01J5/52 |
| 代理公司: | 苏州简理知识产权代理有限公司 32371 | 代理人: | 朱亦倩 |
| 地址: | 300450 天津市滨海新区临港经济区*** | 国省代码: | 天津;12 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 红外 热电 传感器 测试 装置 | ||
本实用新型提供一种红外热电堆传感器的测试装置。所述测试装置包括黑体,其作为标准辐射源为测试提供标准物体温度Tobj;由隔热材料制成的隔热体,其具有贯穿所述隔热体的空腔,所述空腔包括靠近所述黑体的第一端口和远离所述黑体的第二端口;热载体,其内放置有红外热电堆传感器,所述热载体可进入和退出所述隔热体的空腔,当所述热载体位于标准测试位置时,放置有红外热电堆传感器的所述热载体位于所述隔热体的空腔。这样,可以对热电堆输出电压‑环境温度‑物体温度矩阵表进行高效率的测量,并得到高精度的测量结果。
【技术领域】
本实用新型属于MEMS(Micro-Electro-Mechanical System,微机电系统)器件测试领域,尤其涉及一种热电堆输出电压-环境温度-物体温度矩阵表的测试装置。
【背景技术】
在热电堆输出电压-环境温度-物体温度矩阵表测试中,要求物体(标准黑体)温度从零下几十度变化至100度以上,环境温度从-20~100度附近变化。而绝大多数黑体的工作温度介于0~40度之间,无法满足测试要求,一些能在-20~100度环境下工作的黑体,价格都非常的昂贵,价值几十万元。并且为测试设备提供环境温度的高低温实验箱,温度稳定需要时间较长,一般单点温度稳定时间少则需要30分钟,非常不利于密集环境温度点的测试。现有测试中实测矩阵表量不足,大多数据采用插值得到,也不利于客户端高精度的应用。
因此,有必要提出一种技术方案来克服上述问题。
【实用新型内容】
本实用新型的目的之一在于提供一种红外热电堆传感器的测试装置,其在热电堆输出电压-环境温度-物体温度矩阵表测试中,可以实现低成本,高精度,高效率。
根据本实用新型的一个方面,本实用新型提供一种红外热电堆传感器的测试装置,其包括:黑体,其作为标准辐射源为测试提供标准物体温度Tobj;由隔热材料制成的隔热体,其具有贯穿所述隔热体的空腔,所述空腔包括靠近所述黑体的第一端口和远离所述黑体的第二端口;热载体,其内放置有红外热电堆传感器,所述热载体可进入和退出所述隔热体的空腔,当所述热载体位于标准测试位置时,放置有红外热电堆传感器的所述热载体进入所述隔热体的空腔。
与现有技术相比,本实用新型通过控制测试装置中热流流向、温度场的分布,以对热电堆输出电压-环境温度-物体温度矩阵表进行高效率的测量,并得到高精度的测量结果。
【附图说明】
为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其它的附图。其中:
图1为本实用新型在一个实施例中的红外热电堆传感器的测试装置处于初始状态时的结构示意图;
图2为本实用新型在一个实施例中的红外热电堆传感器的测试装置处于工作状态时的结构示意图;
图3为图1和图2中的热载体在一个实施例中的爆炸图;
图4为图3所示的红外热电堆传感器在一个实施例中的剖片示意图;
图5为本实用新型的图1和图2所示的红外热电堆传感器的测试装置的测试方法在一个实施例中的流程图;
图6为本实用新型在一个实施例中的红外热电堆传感器的测试装置的热敏电阻和热电堆芯片的温差与散热器的散热功率的关系图;
图7为发明的红外热电堆传感器的测试装置在两种不同散热控制方式下,热载体温度随时间变化的曲线对比图。
【具体实施方式】
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
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