[实用新型]一种单晶炉水冷套装置有效
| 申请号: | 202021517405.X | 申请日: | 2020-07-28 |
| 公开(公告)号: | CN212713838U | 公开(公告)日: | 2021-03-16 |
| 发明(设计)人: | 倪建刚 | 申请(专利权)人: | 浙江浩祥精密机械制造有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
| 代理公司: | 浙江新篇律师事务所 33371 | 代理人: | 李旻 |
| 地址: | 313200 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 单晶炉 水冷 装置 | ||
本实用新型公开一种单晶炉水冷套装置,包括套体,所述套体底部固定有底座,所述套体呈环形圆桶状结构,所述套体上连通有排水管和进水管,所述排水管与所述进水管一端分别连通有导水管A和导水管B,所述导水管A一端连接有进水泵,所述导水管B一端连接有排水泵,所述进水泵与所述排水泵均与水箱连通,所述水箱内插入有制冷器的制冷管;本实用新型结构设计合理,使用方便,套体内夹层采用折叠交错式设计,在原有的空间中增加水流滞留的时间,同时也保证冷水处于活动状态,让热量传递的更加彻底,并在套体内壁环绕设置有多个翅片板,每个翅片版镂空与套体连通,让套体夹层的冷水能够进入到翅片板中,从而提高热传递的效率。
技术领域
本实用新型属于单晶炉技术领域,具体为一种单晶炉水冷套装置。
背景技术
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶直径在生长过程中可受到温度,提拉速度与转速,坩埚跟踪速度与转速,保护气体的流速等因素的影响。现有的单晶炉在使用过程中需要对其进行水冷降温,但是现有的水冷套结构单一,水冷过程中仅仅采用冷水进行降温,冷水在水泵的作用下冷水滞留时间较短,较厚的水冷套导热性较差,整体水冷质量较低。
针对相关技术中的问题,目前尚未提出有效的解决方案,为此,我们提出一种单晶炉水冷套装置。
发明内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种单晶炉水冷套装置,具有使用方便、水冷质量高等优点,解决了现有水冷套水冷质量低等问题。
(二)技术方案
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种单晶炉水冷套装置,包括套体,所述套体底部固定有底座,所述套体呈环形圆桶状结构,所述套体上连通有排水管和进水管,所述排水管与所述进水管一端分别连通有导水管A和导水管B,所述导水管A一端连接有进水泵,所述导水管B一端连接有排水泵,所述进水泵与所述排水泵均与水箱连通,所述水箱内插入有制冷器的制冷管,所述套体左右两侧固定有下提手,所述下提手上开设有两个螺孔,所述套体夹层内呈环形设置有多个挡板,所述挡板呈环形分布交错固定在套体的内圈与外圈内壁上,所述套体内圈外壁上设置有翅片板,所述套体上盖有套盖,所述套盖左右两侧均固定有上提手,所述上提手与所述下提手通过螺丝螺母固定。
进一步改进地,所述排水管与所述进水管上均安装有阀门。
进一步改进地,所述套盖与套体的边沿之间垫有密封圈。
进一步改进地,所述翅片板的高度与套体高度相同。
进一步改进地,所述翅片板内部镂空并与套体的夹层连通。
进一步改进地,所述导水管A与所述导水管B呈弯折型结构。
(三)有益效果
与现有技术相比,本实用新型提供了单晶炉水冷套装置,具备以下有益效果:
1、该种单晶炉水冷套装置,套体内夹层采用折叠交错式设计,在原有的空间中增加水流滞留的时间,同时也保证冷水处于活动状态,让热量传递的更加彻底,并在套体内壁环绕设置有多个翅片板,每个翅片版镂空与套体连通,让套体夹层的冷水能够进入到翅片板中,从而提高热传递的效率。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图。
图2为本实用新型套盖去除后的俯视图。
图3为本实用新型套盖结构示意图。
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