[实用新型]一种单晶炉水冷套装置有效

专利信息
申请号: 202021517405.X 申请日: 2020-07-28
公开(公告)号: CN212713838U 公开(公告)日: 2021-03-16
发明(设计)人: 倪建刚 申请(专利权)人: 浙江浩祥精密机械制造有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00
代理公司: 浙江新篇律师事务所 33371 代理人: 李旻
地址: 313200 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 单晶炉 水冷 装置
【说明书】:

本实用新型公开一种单晶炉水冷套装置,包括套体,所述套体底部固定有底座,所述套体呈环形圆桶状结构,所述套体上连通有排水管和进水管,所述排水管与所述进水管一端分别连通有导水管A和导水管B,所述导水管A一端连接有进水泵,所述导水管B一端连接有排水泵,所述进水泵与所述排水泵均与水箱连通,所述水箱内插入有制冷器的制冷管;本实用新型结构设计合理,使用方便,套体内夹层采用折叠交错式设计,在原有的空间中增加水流滞留的时间,同时也保证冷水处于活动状态,让热量传递的更加彻底,并在套体内壁环绕设置有多个翅片板,每个翅片版镂空与套体连通,让套体夹层的冷水能够进入到翅片板中,从而提高热传递的效率。

技术领域

本实用新型属于单晶炉技术领域,具体为一种单晶炉水冷套装置。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶直径在生长过程中可受到温度,提拉速度与转速,坩埚跟踪速度与转速,保护气体的流速等因素的影响。现有的单晶炉在使用过程中需要对其进行水冷降温,但是现有的水冷套结构单一,水冷过程中仅仅采用冷水进行降温,冷水在水泵的作用下冷水滞留时间较短,较厚的水冷套导热性较差,整体水冷质量较低。

针对相关技术中的问题,目前尚未提出有效的解决方案,为此,我们提出一种单晶炉水冷套装置。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种单晶炉水冷套装置,具有使用方便、水冷质量高等优点,解决了现有水冷套水冷质量低等问题。

(二)技术方案

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种单晶炉水冷套装置,包括套体,所述套体底部固定有底座,所述套体呈环形圆桶状结构,所述套体上连通有排水管和进水管,所述排水管与所述进水管一端分别连通有导水管A和导水管B,所述导水管A一端连接有进水泵,所述导水管B一端连接有排水泵,所述进水泵与所述排水泵均与水箱连通,所述水箱内插入有制冷器的制冷管,所述套体左右两侧固定有下提手,所述下提手上开设有两个螺孔,所述套体夹层内呈环形设置有多个挡板,所述挡板呈环形分布交错固定在套体的内圈与外圈内壁上,所述套体内圈外壁上设置有翅片板,所述套体上盖有套盖,所述套盖左右两侧均固定有上提手,所述上提手与所述下提手通过螺丝螺母固定。

进一步改进地,所述排水管与所述进水管上均安装有阀门。

进一步改进地,所述套盖与套体的边沿之间垫有密封圈。

进一步改进地,所述翅片板的高度与套体高度相同。

进一步改进地,所述翅片板内部镂空并与套体的夹层连通。

进一步改进地,所述导水管A与所述导水管B呈弯折型结构。

(三)有益效果

与现有技术相比,本实用新型提供了单晶炉水冷套装置,具备以下有益效果:

1、该种单晶炉水冷套装置,套体内夹层采用折叠交错式设计,在原有的空间中增加水流滞留的时间,同时也保证冷水处于活动状态,让热量传递的更加彻底,并在套体内壁环绕设置有多个翅片板,每个翅片版镂空与套体连通,让套体夹层的冷水能够进入到翅片板中,从而提高热传递的效率。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图2为本实用新型套盖去除后的俯视图。

图3为本实用新型套盖结构示意图。

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