[实用新型]一种高精度的石墨坩埚电阻率测试装置

权利要求书

1.一种高精度的石墨坩埚电阻率测试装置，其特征在于，所述装置包括：测试主机，和与所述测试主机电连接的电阻率测试组件，所述电阻率测试组件包括：

底座，所述底座上设有用于承载石墨坩埚的样品台，和沿高度方向延伸的测试杆，所述测试杆上设有四个分别与测试主机电连接且等距离间隔分布的电接触件，所述电接触件的接触端朝向石墨坩埚，并且位于同一直线上；所述测试杆至少设置两个，并且沿石墨坩埚的周向均匀分布。

2.根据权利要求1所述的高精度的石墨坩埚电阻率测试装置，其特征在于，所述电接触件包括两个电压探针和两个电流探针，所述两个电流探针在高度方向上分别靠近于石墨坩埚的顶端和底端。

3.根据权利要求2所述的高精度的石墨坩埚电阻率测试装置，其特征在于，所述两个电压探针位于两个电流探针之间；所述电流探针采用石墨电极。

4.根据权利要求1所述的高精度的石墨坩埚电阻率测试装置，其特征在于，所述测试杆上设有电接触件调节机构，所述电接触件调节机构被构造成带动电接触件沿测试杆在高度方向上移动。

5.根据权利要求4所述的高精度的石墨坩埚电阻率测试装置，其特征在于，所述电接触件调节机构包括设于测试杆的调节丝杠，和设于电接触件的调节螺母，所述调节螺母与所述调节丝杠配合以调节电接触件的高度位置。

6.根据权利要求1所述的高精度的石墨坩埚电阻率测试装置，其特征在于，至少两个所述测试杆分别位于石墨坩埚直径方向的两端。

7.根据权利要求1所述的高精度的石墨坩埚电阻率测试装置，其特征在于，所述底座上设置有第一滑动部，所述测试杆的底部与所述第一滑动部配合滑动连接，以使所述测试杆沿石墨坩埚径向靠近或远离石墨坩埚。

8.根据权利要求7所述的高精度的石墨坩埚电阻率测试装置，其特征在于，所述第一滑动部在底座上沿石墨坩埚的径向延伸，所述测试杆的底部设有与所述第一滑动部配合的调节滑块。

9.根据权利要求1所述的高精度的石墨坩埚电阻率测试装置，其特征在于，所述底座上设置有坩埚定位组件，所述坩埚定位组件包括第二滑动部和与所述第二滑动部配合连接的定位滑块。

10.根据权利要求1所述的高精度的石墨坩埚电阻率测试装置，其特征在于，还包括位于石墨坩埚上方的压力杆，和设于底座上的压力杆固定架，所述压力杆通过升降机构与所述压力杆固定架连接。