[实用新型]一种搅拌蒸发源

权利要求书

1.一种搅拌蒸发源，包括蒸发源本体和坩埚；

所述坩埚设置在所述蒸发源本体内，所述坩埚包括腔体，所述腔体用于作为蒸镀材料的蒸发场所；

其特征在于，还包括搅拌装置和驱动单元；

所述搅拌装置包括中心轴、横杆、连接杆和搅拌头，所述中心轴的一端连接在所述腔体上，所述中心轴的另一端连接所述横杆，所述横杆上连接有所述连接杆的一端，所述连接杆的另一端连接有所述搅拌头；

所述驱动单元设置在所述腔体上，用于驱动搅拌装置转动来搅拌蒸镀材料。

2.根据权利要求1所述的一种搅拌蒸发源，其特征在于，所述搅拌头为磁性搅拌头，所述磁性搅拌头具有磁性，所述连接杆可转动地连接在所述横杆上；

所述驱动单元包括磁性物，所述驱动单元连接在所述腔体上，所述磁性物用于带动磁性搅拌头和连接杆转动来搅拌蒸镀材料。

3.根据权利要求2所述的一种搅拌蒸发源，其特征在于，所述驱动单元还包括基座和马达；

所述马达置于所述腔体的底部，所述马达的转轴连接有所述基座的底面，所述基座的上表面设置有所述磁性物。

4.根据权利要求1所述的一种搅拌蒸发源，其特征在于，所述驱动单元包括电机；

所述电机的转轴与所述中心轴的一端连接，所述电机用于带动中心轴转动，从而带动横杆、连接杆和搅拌头转动来搅拌蒸镀材料。

5.根据权利要求1或4所述的一种搅拌蒸发源，其特征在于，所述搅拌头包括旋转头和旋转头电机，所述旋转头电机的转轴连接所述旋转头。

6.根据权利要求1所述的一种搅拌蒸发源，其特征在于，还包括加热线圈，所述加热线圈缠绕在所述横杆或者所述连接杆上。

7.根据权利要求6所述的一种搅拌蒸发源，其特征在于，加热线圈产生交变磁场，所述横杆或者所述连接杆为导体。

8.根据权利要求1所述的一种搅拌蒸发源，其特征在于，还包括通孔和防堵塞装置；

所述通孔设置在坩埚的顶部，所述通孔与所述腔体连通；

所述防堵塞装置设置在所述通孔处，用于清理堵塞在通孔的蒸镀材料。

9.根据权利要求8所述的一种搅拌蒸发源，其特征在于，所述防堵塞装置为振动装置。

10.根据权利要求1所述的一种搅拌蒸发源，其特征在于，还包括填料腔、活动挡板和活塞；

所述填料腔设置在所述坩埚的一侧，所述填料腔与所述坩埚的腔体相连通；

所述活动挡板设置在所述填料腔或者所述坩埚中，并位于所述填料腔与所述坩埚的连接处；

所述填料腔上具有注料口，所述活塞设置在所述填料腔中，并位于所述注料口的一侧。