[实用新型]一种线源坩埚余料检测装置

说明书

本实用新型公开了一种线源坩埚余料检测装置，坩埚上盖盖设于坩埚本体上，且坩埚上盖上设置有多个喷嘴；还包括：检测装置，检测装置用于检测线源坩埚内剩余的蒸镀材料；检测装置为超声波监测仪，超声波监测仪设置于坩埚上盖上方，且超声波监测仪包括：超声波发射探头、超声波接收装置，超声波发射探头、超声波接收装置集成在超声波监测仪内，且超声波发射探头用于发出超声波信号，超声波接收装置用于接收超声波信号；或者检测装置为磁场发射装置、磁场传感器，磁场发射装置设置于坩埚上盖上方，磁场传感器设置于坩埚本体下方；磁场发射装置用于发射磁场，磁场传感器用于接收磁场。提高了蒸镀产品的良率以及生产效率，减少废料的产生。

技术领域

本实用新型涉及线源坩埚蒸镀余料检测技术领域，尤其涉及一种线源坩埚余料检测装置。

背景技术

目前，一般采用真空蒸镀的方式制备器件的有机发光层，在真空环境下，加热线性蒸镀源坩埚中的升华型有机材料使其气化，气化的升华型有机材料通过喷嘴喷出，最后在玻璃基板上冷沉积凝结成膜。然而线性蒸镀源在对线性坩埚内部升华型的有机材料进行加热时容易出现受热不均匀的现象，导致线性坩埚内升华型有机材料分布不均匀，如果升华型有机材料少的区域随着蒸镀时不断的加热而使得有机材料裂解产生灰质，若蒸镀到基板上会影响到器件的性能。

升华型有机材料在线性坩埚内经过一段时间的加热会出现有机材料在坩埚底部分布不均匀的现象，如果不知道在坩埚底部某区域的有机材料是否使用完，而继续对坩埚进行加热使用就有可能导致坩埚加热不均匀，或是少量的有机材料因为过热而导致裂解产生灰质，最终会影响器件的光电性能。

在经过一段时间的加热后，若要判断有机材料在坩埚内的剩余量或是需要知道坩埚内是否还有剩余的有机材料，就要拆开坩埚观察情况，而此时装坩埚的腔体要降温后才可以破真空，再进行拆开坩埚和安装坩埚一系列操作流程，需要消耗大量的人力成本、物力成本以及时间成本，从而降低了生产效率。

实用新型内容

为此，需要提供一种线源坩埚余料检测装置，提高蒸镀产品的良率以及生产效率，减少废料的产生。

为实现上述目的，本申请提供了一种线源坩埚余料检测装置，线源坩埚，包括：坩埚本体、坩埚上盖；所述坩埚上盖盖设于所述坩埚本体上，且所述坩埚上盖上设置有多个喷嘴；还包括：多个的检测装置，所述检测装置用于检测所述线源坩埚内剩余的蒸镀材料；

所述检测装置为超声波监测仪，所述超声波监测仪设置于所述坩埚上盖上方，且所述超声波监测仪包括：超声波发射探头和超声波接收装置，所述超声波发射探头、超声波接收装置集成在所述超声波监测仪内，且所述超声波发射探头用于发出超声波信号，所述超声波接收装置用于接收超声波信号；多个的检测装置的超声波发射探头和超声波接收装置排成一排且平行于坩埚本体内侧底面；

或者所述检测装置为磁场发射装置和磁场传感器，所述磁场发射装置设置于所述坩埚上盖上方，所述磁场传感器设置于所述坩埚本体下方；所述磁场发射装置用于发射磁场，所述磁场传感器用于接收磁场；多个的检测装置的磁场发射装置排成一排且平行于坩埚本体内侧底面，多个的检测装置的磁场传感器排成一排且平行于坩埚本体内侧底面。

进一步地，还包括：PC端，所述PC端与所述超声波监测仪电连接，或者所述PC端与所述磁场发射装置、磁场传感器电连接。

进一步地，多个的所述超声波监测仪所检测的宽度大于所述坩埚本体内侧的底面宽度。

进一步地，多个的所述磁场发射装置排成一排的宽度和多个的磁场传感器排成一排的宽度相等，且所述磁场发射装置和磁场传感器所检测的宽度大于所述坩埚本体内侧的底面宽度。

进一步地，所述坩埚本体的剖面为宽度大于高度的长方形。