[实用新型]一种真空泵快速抽气系统

说明书

本实用新型涉及真空溅镀设备领域，尤其涉及一种真空泵快速抽气系统，包括真空腔体、真空泵组件和变频控制器，其特征在于，所述真空泵组件包括：前级泵和助力泵；所述前级泵和助力泵通过抽气管路连接，所述助力泵连接真空腔体；所述前级泵和助力泵上均设置有变频控制器；所述真空腔体内设置有一对腔体闸阀，用于所述真空腔体上还设置有真空压力计；采用本实用新型，变频控制器配合真空压力计，实时监测调整真空泵组件；利用变频控制器分别控制前级泵和助力泵，实现了频率精准控制，减缓抽气管路的气体挤压，防止产生气体压缩积热；整体有效快速抽气真空，缩短整体制程时间，增加生产效率。

技术领域

本实用新型涉及真空溅镀设备领域，尤其涉及一种真空泵快速抽气系统。

背景技术

连续式真空溅镀线为加速生产节拍，多以增加粗抽泵的真空排气量作为手段，缩短真空腔体的抽气时间，达到增加产能目的。

增加抽气量的方法有增加真空泵数量或加大(单套)真空泵的抽气量。加大单套泵的抽气量，多为在新规划设置线时，直接以更大一级数的真空泵作为使用。

真空泵系统多为一套前级泵搭配一套助力泵，当助力泵启动时机点过早，由于腔体内仍有大量气体分子，气体经过鲁式转子搅动，大量气体分子向下排到前级泵的抽气口，前级泵由于排气量限制，无法及时的抽排出去。气体分子在二颗泵之间的管路会形成气体积压，导致真空泵排气效能变差(更耗电)，同时因为气体压缩积热严重，容易出现真空泵转子过热甚至是卡死故障等问题

真空泵抽气系统抽气量配比愈大可以得到一个较经济的采购成本，但是如果不能控制好助力泵启动时机点的抽气系统，那么愈容易发生机械故障问题。

实用新型内容

本实用新型目的是在于提供一种结构简单，改造成本低，变频控制的快速抽气装置。

一种真空泵快速抽气系统，包括真空腔体、真空泵组件和变频控制器，其特征在于，所述真空泵组件包括：前级泵和助力泵；所述前级泵和助力泵通过抽气管路连接，所述助力泵连接真空腔体；

所述前级泵和助力泵上均设置有变频控制器；所述真空腔体内设置有一对腔体闸阀，用于所述真空腔体上还设置有真空压力计。

进一步的，所述前级泵和助力泵的抽气量配比设定为1:8-1:10之间。

进一步的，所述助力泵内设置有回流腔道；所述回流腔道一端连接抽气管路，另一端连接助力泵的进气口。

进一步的，所述回流腔道连接助力泵进气口处，设置有压力阀。

进一步的，所述助力泵与真空腔体连接的管路上设置有角阀。

进一步的，所述真空腔体的容积为200L。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型具体实施过程中，真空泵组件中，前级泵与助力泵的抽气量配比设定为1：9，当设备开始工作时，真空腔体内气体分子较多，前级泵主要抽气，辅助用助力泵以10-30Hz频率低速运转，可以降低助力泵转子的气挡作用，也能加速气体分子向压进入前级泵；秒后，通过变频控制器控制助力泵频率提升至60Hz全速运转，助力泵中气体经过鲁式转子搅动，大量气体向下从抽气管路进入前级泵；为了避免助力泵中压力过大，设计有回流腔道，并配合压力阀，使得多余未能及时进入前级泵的气体，再次回到助力泵的抽气管路中；当真空腔体内压力达到设定值，关闭角阀，开启腔体闸阀7，可以使台车进入下一个腔体进行下一个制程；

采用本实用新型，变频控制器配合真空压力计，实时监测调整真空泵组件；利用变频控制器分别控制前级泵和助力泵，实现了频率精准控制，减缓抽气管路的气体挤压，防止产生气体压缩积热；整体有效快速抽气真空，缩短整体制程时间，增加生产效率。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图；