[实用新型]T-FOF的等离子清洗和ACF的贴附组合机构

权利要求书

1.T-FOF的等离子清洗和ACF的贴附组合机构，其特征在于，包括：

底板(100)；

平台组件(101)，具有一等离子膜放置平台(5)、安装于所述底板(100)上的Y轴驱动机构(1)，所述Y轴驱动机构(1)上设有Y轴向移动的第一滑块组件，该第一滑块组件的顶面分别安装有一用于Z向调节所述等离子膜放置平台(5)高度的Z轴机构(2)、2组设于所述Z轴机构(2)两侧的剥离杆机构(3)以及一可调式顶针分离机构(4)；

清洗贴附组件(102)，具有安装于所述底板(100)上且与所述Y轴驱动机构(1)垂直设置的X轴驱动机构(8)，所述X轴驱动机构(8)上设有X轴向移动的第二滑块组件，所述第二滑块组件上安装有做XYZQ轴向微调的UVW微调平台(9)，所述UVW微调平台(9)上设有清洗机构和贴附机构，所述Y轴驱动机构(1)能够驱动所述等离子膜放置平台(5)移动至所述清洗机构和贴附机构。

2.根据权利要求1所述的T-FOF的等离子清洗和ACF的贴附组合机构，其特征在于，所述Y轴驱动机构(1)采用直线电机驱动第一滑块组件在双导轨上做Y轴向移动。

3.根据权利要求1所述的T-FOF的等离子清洗和ACF的贴附组合机构，其特征在于，所述Z轴机构(2)包括：

电机支架座，呈“冂”型结构的固立于所述第一滑块组件的顶面；

Z轴电机，其卧设于所述电机支架座上，其驱动端连接有手动滑台，所述手动滑台是通过一个活动斜块和一个安装于所述等离子膜放置平台(5)下板面的固定斜块形成斜面贴合结构，所述Z轴电机的驱动端驱动所述活动斜块移动，进而驱动所述固定斜块做升降运动，所述固定斜块带动所述等离子膜放置平台(5)做升降运动。

4.根据权利要求1所述的T-FOF的等离子清洗和ACF的贴附组合机构，其特征在于，所述剥离杆机构(3)包括：

对称的悬接于所述第一滑块组件顶面的L型支架(31)；

第一Z轴气缸(32)，固立于所述L型支架的顶端，其驱动端朝上；

剥离杆(33)，安装于所述第一Z轴气缸(32)的驱动端，其水平向延伸至所述等离子膜放置平台(5)，两个剥离杆(33)相向且同轴。

5.根据权利要求1所述的T-FOF的等离子清洗和ACF的贴附组合机构，其特征在于，所述平台组件(101)还包括贴附支撑块(6)，所述贴附支撑块(6)固立于所述第一滑块组件的顶面一侧且其上部与所述等离子膜放置平台(5)之间留有间隙，所述贴附支撑块(6)的板体侧面设置有X向滑轨，其顶面设有负压孔，所述可调式顶针分离机构(4)滑接于该X向滑轨上，所述可调式顶针分离机构(4)包括：

第二Z轴气缸(41)，侧滑接于所述X向滑轨，其驱动端朝上设置；

可调式顶针(42)，安装于所述第二Z轴气缸(41)的驱动端，其上部通过升降运动能够穿过和隐藏所述间隙，所述可调式顶针(42)的顶端折弯且该折弯方向朝向X向；

FPC辅助托板(7)，安装于所述贴附支撑块(6)的顶端台阶处且水平悬置。

6.根据权利要求1所述的T-FOF的等离子清洗和ACF的贴附组合机构，其特征在于，所述X轴驱动机构(8)通过伺服电机驱动丝杆旋转，进而带动所述第二滑块组件移动，所述UVW微调平台(9)的顶面安装有安装支架(10)，所述安装支架(10)随所述第二滑块组件做XYZQ轴向移动，其上安装有竖置的立板，所述立板悬空于所述安装支架(10)上且其悬空下侧的间隙用于所述平台组件(101)的进入，所述立板，其朝向所述平台组件(101)的一面设置有所述清洗机构，其背向所述平台组件(101)的一面设置有所述贴附机构。

7.根据权利要求6所述的T-FOF的等离子清洗和ACF的贴附组合机构，其特征在于，所述清洗机构用于清洗等离子膜，其包括一清洗器(12)，该清洗器(12)侧安装于所述立板侧面，其设有朝下方向的清洗头，所述清洗头被一固定于所述立板上的笔杆气缸驱动，沿一竖置滑轨升降，所述竖置滑轨设于所述立板上。