[实用新型]打标装置和激光打标机有效

专利信息
申请号: 202021423959.3 申请日: 2020-07-17
公开(公告)号: CN212918054U 公开(公告)日: 2021-04-09
发明(设计)人: 林克斌;谢曼霞;王庆丰;黄小龙;吴霞芳;李涛;张凯 申请(专利权)人: 深圳泰德半导体装备有限公司
主分类号: B23K26/067 分类号: B23K26/067;B23K26/362
代理公司: 深圳市恒程创新知识产权代理有限公司 44542 代理人: 苗广冬
地址: 518000 广东省深圳市坪山区龙田街*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 装置 激光 打标机
【说明书】:

实用新型公开一种打标装置和激光打标机,其中,打标装置包括激光器、分光件、打标头组件和扩束镜组件。所述激光器用以发射出激光束,所述分光件设于所述激光器的出光侧,用以将所述激光束分成第一光束和第二光束。所述打标头组件包括第一打标头和第二打标头,所述第一打标头能够接收所述第一光束,所述第二打标头能够接收所述第二光束。所述扩束镜组件包括第一扩束镜和第二扩束镜,所述第一扩束镜设于所述第一打标头的入光口并用以调节所述第一光束的扩散角,所述第二扩束镜设于所述第二打标头的入光口并用以调节所述第二光束的扩散角。本实用新型打标装置能够解决现有的一些打标装置无法兼顾较大的打标范围和较高的打标精度的技术问题。

技术领域

本实用新型涉及激光打标技术领域,特别涉及一种打标装置和激光打标机。

背景技术

在IC行业中,应用激光技术对IC产品进行标记的方式越来越广泛。激光打标的效率高,合格率高,打标效果清晰明了,这已经成为一种新的趋势。但是现有的一些打标装置打标范围较小,采用大幅面场镜来增大打标范围时又会降低打标精度,无法兼顾较大的打标范围和较高的打标精度。

上述内容仅用于辅助理解实用新型的技术方案,并不代表承认上述内容是现有技术。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提出一种打标装置,旨在现有的一些激光打标装置无法兼顾较大的打标范围和较高的打标精度的技术问题。

为实现上述目的,本实用新型提出的打标装置,包括激光器、分光件、打标头组件和扩束镜组件。所述激光器用以发射出激光束,所述分光件设于所述激光器的出光侧,用以将所述激光束分成第一光束和第二光束。所述打标头组件包括第一打标头和第二打标头,所述第一打标头能够接收所述第一光束,所述第二打标头能够接收所述第二光束。所述扩束镜组件包括第一扩束镜和第二扩束镜,所述第一扩束镜设于所述第一打标头的入光口并用以调节所述第一光束的扩散角,所述第二扩束镜设于所述第二打标头的入光口并用以调节所述第二光束的扩散角。

在一实施例中,所述分光件为偏振分光片或偏振分束立方体,所述激光束的部分光束被所述分光件反射并形成所述第一光束,所述激光束的部分光束透射所述分光件并形成所述第二光束。

在一实施例中,所述第一光束自所述分光件传播至所述第一打标头的光程等于所述第二光束自所述分光件传播至所述第二打标头的光程。

在一实施例中,所述分光件与所述第一打标头之间的间隔等于所述所述分光件与所述第二打标头之间的间隔;所述打标装置还包括第一反射镜和第二反射镜,所述第一反射镜用以将所述第一光束反射到所述第一打标头,所述第二反射镜用以将所述第二光束反射到所述第二打标头。

在一实施例中,所述分光件具有分光面,所述激光束入射到所述分光件时与所述分光面呈45度角。

在一实施例中,所述扩束镜组件还包括第三扩束镜,所述第三扩束镜设于所述激光器和所述分光件之间,所述第三扩束镜用以改变所述激光束的光束质量。

在一实施例中,所述打标装置还包括半波片,所述半波片设于所述第三扩束镜和所述分光件之间,所述半波片用以调整所述激光束的偏振方向。

在一实施例中,所述分光件与所述半波片之间通过连接组件固定连接。

在一实施例中,所述连接组件包括固定件和限位于所述固定件的多根杆件,所述固定件固定于所述打标装置,所述分光件和所述半波片分别连接于所述多根杆件的两端。

本实用新型还提出一种激光打标机,所述激光打标机包括工作台和打标装置,所述工作台上具有用于放置打标对象的打标区,所述打标装置安装于所述工作台上,所述打标装置包括:

激光器,用以发射出激光束;

分光件,设于所述激光器的出光侧,用以将所述激光束分成第一光束和第二光束;

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