[实用新型]一种氮化镓生产尾气处理用快接管线

权利要求书

1.一种氮化镓生产尾气处理用快接管线，所述快接管线包括过滤器和真空泵，过滤器的进气端通过硬质管线连接氮化镓生长炉的出气管，其特征在于，所述真空泵的进气端连接有第一三通管，所述第一三通管的进气端通过第一波纹管与所述过滤器的出气端连接，所述第一三通管的第一出气口连接真空泵的进气端，并设置有第一电动开关阀，所述第一三通管的第二出气口连接第二波纹管的一端，并设有第二电动开关阀，所述第二波纹管的另一端通过第二三通管连接尾气回收装置，所述真空泵的出气端通过第三电动开关阀连接第二三通管，所述过滤器、第一三通管、第一波纹管、第二三通管、第一电动开关阀、第二电动开关阀、第三电动开关阀及第二波纹管的管口对接处分别通过快接件进行紧固连接。

2.根据权利要求1所述的氮化镓生产尾气处理用快接管线，其特征在于，所述快接件包括两段半圆弧形板，两段半圆弧形板的一端铰接，另一端分别设有对应的紧固孔，并穿有紧固螺栓，其中一个半圆弧形板的紧固孔设有内螺纹，所述紧固螺栓与之螺纹连接，所述半圆弧形板的内侧面为V型凹槽。

3.根据权利要求2所述的氮化镓生产尾气处理用快接管线，其特征在于，两段半圆弧形板的铰接端分别开有铰接孔，两段半圆弧形板的铰接孔之间通过铰接板连接，铰接板的两端分别通过销轴与两铰接孔连接。

4.根据权利要求1、2或3所述的氮化镓生产尾气处理用快接管线，其特征在于，所述过滤器整体呈圆筒型，其上设有顶盖，所述顶盖的中央焊接有进气管，侧壁的下部焊接有出气管，其内部设有多层隔离网和筛网。

5.根据权利要求4所述的氮化镓生产尾气处理用快接管线，其特征在于，所述过滤器的底部设有一圈圆盘，所述圆盘上均布有三个支撑腿，所述支撑腿通过螺纹杆连接在过滤器底部的圆盘的内螺纹孔中。

6.根据权利要求5所述的氮化镓生产尾气处理用快接管线，其特征在于，所述过滤器、第一三通管、第一波纹管、第二三通管、第一电动开关阀、第二电动开关阀、第三电动开关阀及第二波纹管的各管口对接面分别设有O型密封圈。