[实用新型]一种靶材管绑定前的电刷镀处理装置

说明书

本实用新型公开了一种靶材管绑定前的电刷镀处理装置，包括三角固定板，所述三角固定板一侧靠近中部的位置固定安装有正负极固定器，所述三角固定板一侧安装正负极固定器的正上方的位置固定安装有刷镀滑杆，所述刷镀滑杆的上表面活动安装有刷镀头，所述刷镀头的正上方活动安装有靶材管，所述靶材管外侧均匀的活动安装有负极连接圈，所述刷镀滑杆固定于三角固定板的另一侧活动安装有转向支撑杆，所述三角固定板一侧安装正负极固定器的正下方的位置固定安装有电动马达。本实用新型所述的一种靶材管绑定前的电刷镀处理装置，能够更方便安装靶材管，使得电镀更均匀，刷镀膜的质量得到保证，移动更方便，节省人力。

技术领域

本实用新型涉及旋转靶绑定预处理技术领域，特别涉及一种靶材管绑定前的电刷镀处理装置。

背景技术

传统的绑定方法将旋转靶材分多段依次绑定，多段绑定导致旋转靶材段之间形成接缝，该接缝在磁控溅射中会影响镀膜的均匀性，因此采取一次整管绑定的旋转靶质量更优；在对旋转靶的背管和靶材管在绑定前的预处理效果直接影响旋转靶绑定的粘结牢固度和焊合率，粘结牢固度和焊合率低使旋转靶在使用时出现导电不良、散热不均、易脱落的情况，严重影响产品的使用，因此对旋转靶的绑定前的预处理尤为重要；其中靶材管的预处理是对靶材管的内壁进行电刷镀处理，在电刷镀通电时，因靶材管的长度过长，导致电刷镀区域的电流密度低，使电刷镀层的致密性低，离子的沉积速度慢，导致电刷镀效果差，电刷镀效率低。同时现有的旋转靶电刷镀平台为人工刷镀，生产效率低，刷镀膜层厚度等靠人工经验进行控制，刷镀膜的质量无法保证；实用新型内容针对现有技术存在的不足。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种靶材管绑定前的电刷镀处理装置，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种靶材管绑定前的电刷镀处理装置，包括三角固定板，所述三角固定板一侧靠近中部的位置固定安装有正负极固定器，所述三角固定板一侧安装正负极固定器的正上方的位置固定安装有刷镀滑杆，所述刷镀滑杆的上表面活动安装有刷镀头，所述刷镀头的正上方活动安装有靶材管，所述靶材管外侧均匀的活动安装有负极连接圈，所述刷镀滑杆固定于三角固定板的另一侧活动安装有转向支撑杆，所述三角固定板一侧安装正负极固定器的正下方的位置固定安装有电动马达，所述电动马达固定于三角固定板的另一侧活动安装有一号支撑柱，所述一号支撑柱安装电动马达的另一侧活动安装有橡胶轮，所述三角固定板的下表面固定安装有底座，所述底座的上表面安装一号支撑柱固定安装有二号支撑柱，所述底座下表面固定安装有转向滚轮，所述刷镀滑杆的上表面靠近三角固定板的一端固定安装有伸缩杆控制器。

优选的，所述刷镀头的一侧固定安装有绝缘伸缩杆，所述刷镀头的一侧安装绝缘伸缩杆的上方固定连接有正极连接管，所述刷镀头一侧连接正极连接管的上方的位置，电刷镀输液管。

优选的，所述刷镀滑杆上表面固定于三角固定板的另一端的位置开设有插口槽，所述刷镀滑杆前表面靠近固定于三角固定板的另一端的中心位置开设有固定通孔，所述刷镀滑杆的上表面开设有刷镀滑槽，所述固定通孔的内侧活动安装有固定环，所述固定环的内侧固定安装有固定螺丝，所述负极连接圈的一侧内部固定安装有负极连接管，所述正负极固定器上表面一侧的位置固定安装有正极接头，所述正负极固定器上表面安装正极接头的另一侧固定安装有负极接头。

优选的，所述绝缘伸缩杆的与刷镀头固定的另一端与伸缩杆控制器固定连接，所述正极连接管连接刷镀头的另一端于正极接头固定连接，所述电刷镀输液管连接刷镀头的另一端与电镀液储存器连接，所述负极连接管靠近三角固定板的一端与负极接头固定连接，所述橡胶轮在靠近靶材管下表面两端分别设有两个，所述底座靠近三角固定板一侧的两角均安装有转向滚轮，所述底座不靠近三角固定板一侧的位置安装一个有转向滚轮。

优选的，所述电动马达固定于三角固定板的另一侧中心位置，活动安装有输出轴，所述输出轴靠近前表面固定安装有一号齿轮，所述转向支撑杆的上表面固定安装有支撑杆接头，所述底座不靠近三角固定板一侧的位置开设有底座凹槽。