[实用新型]一种平面靶材的校平设备

说明书

本实用新型公开了一种平面靶材的校平设备，包括工作台，所述工作台的上端表面固定安装有加热平台，所述工作台的两端固定安装有安装台，所述安装台的上端连接安装有横梁，所述横梁的表面与加压固定元件连接，所述加压固定元件的底端螺旋固定有驱动手轮，所述加压固定元件的两侧底端分别固定连接安装有抵压块，所述抵压块的下表面与平面靶材抵压连接。本实用新型所述的一种平面靶材的校平设备，通过设置的红外线测量仪，可以用作测量平面靶材的拱度，从而进行高精度的热压校平，不会损坏靶材，所需时间短，校平效果好，通过双设的加压固定元件，可以达到双倍的校平效率，从而使产能提升。

技术领域

本实用新型涉及平面靶材制造设备领域，特别涉及一种平面靶材的校平设备。

背景技术

溅射靶材根据形状可分为平面靶材，多弧靶材，旋转靶材，平面靶材主要是指具有一定厚度的圆形靶材及矩形靶材，平面靶材通过镙文等方式与溅射设备相连接，在真空条件下溅射成膜层附着于基片上，再通过各种手段对薄膜加工，以满足不同需要，平面靶材是将靶材贴合在背板上，从而形成能够实现溅射加工的靶材原料，在靶材与背板进行绑定时，需要在加热平台上进行，由于背板材料与靶材的膨胀系数不同，以及背板与靶材在绑定过程中所达到的温度不同，绑定所得的平面靶材，必然会因为背板与靶材发生不同程度的表征变化，导致平面靶材出现正拱或反拱。这些出现在靶材基片的正拱或反拱的凹凸高度相对理想平面的偏差过大时，会导致靶材基片的溅射膜层均匀度不够，薄膜的成膜质量差，所以在进行溅射镀膜前，需要对绑定所得的平面靶材进行平面校平处理；在现有技术中，一般采用铁块施压整平，这种校平工具容易对靶材表面造成刮痕，而且由于铁块重量大，导致操作难度大，容易压坏质脆和质软的平面靶材，且工作效率较低，成品时间较长，为此，我们提出一种平面靶材的校平设备。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种平面靶材的校平设备，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种平面靶材的校平设备，包括工作台，所述工作台的上端表面固定安装有加热平台，所述工作台的两端固定安装有安装台，所述安装台的上端连接安装有横梁，所述横梁的表面与加压固定元件连接，所述加压固定元件的底端螺旋固定有驱动手轮，所述加压固定元件的两侧底端分别固定连接安装有抵压块，所述抵压块的下表面与平面靶材抵压连接。

优选的，所述安装台的上端表面固定安装有固定台，所述固定台的上端表面固定安装有安装柱，所述安装柱的表面固定连接有横梁，所述横梁通过安装柱、固定台与安装台连接，所述安装柱的表面位于横梁的下端固定安装有红外线测量仪。

优选的，所述加压固定元件的表面开设有限位孔，所述横梁通过限位孔与加压固定元件连接。

优选的，所述驱动手轮的上端连接有驱动螺杆，所述驱动螺杆与限位孔螺旋固定，所述驱动手轮通过驱动螺杆与限位孔和加压固定元件螺旋固定。

优选的，所述抵压块的上端表面固定安装有桥杆，所述抵压块通过桥杆与加压固定元件的两侧底端固定连接。

优选的，所述平面靶材的下端表面固定连接有靶材基片，所述靶材基片的下端表面连接有背板。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型中，通过设置的红外线测量仪，红外线测量仪可以用作测量平面靶材的拱度，从而进行高精度的热压校平，通过设置的加压固定元件和驱动手轮，加压固定元件和驱动手轮在操作过程中不会损坏靶材，所需时间短，校平效果好，通过双设的加压固定元件，双设的加压固定元件可以达到双倍的校平效率，从而使产能提升。

附图说明

图1为本实用新型一种平面靶材的校平设备的整体结构示意图；

图2为本实用新型一种平面靶材的校平设备的加压固定元件和驱动手轮连接的剖面图；