[实用新型]一种圆形靶材组件

权利要求书

1.一种圆形靶材组件，其特征在于，所述圆形靶材组件包括靶坯以及与靶坯连接的背板；

所述背板的焊接面环绕靶坯，镜像分布有至少12个垫圈孔；所述至少12个垫圈孔与圆形靶材组件中心轴的距离相等；

所述垫圈孔为凸台状垫圈孔，凸台状垫圈孔的小径端远离背板的焊接面，小径端的厚度与大径端的厚度比为3:(2-2.5)。

2.根据权利要求1所述的圆形靶材组件，其特征在于，所述靶坯的直径为300-540mm。

3.根据权利要求2所述的圆形靶材组件，其特征在于，所述垫圈孔的数量为偶数。

4.根据权利要求3所述的圆形靶材组件，其特征在于，所述靶坯的直径为300-400mm，镜像分布的垫圈孔的数量为12个，即每个区域中设置有3个垫圈孔，相邻两个垫圈孔的圆心角分别为48.75°与22.5°。

5.根据权利要求4所述的圆形靶材组件，其特征在于，相邻两个区域中，相连垫圈孔的圆心角分别为15°与22.5°。

6.根据权利要求3所述的圆形靶材组件，其特征在于，所述靶坯的直径为400-540mm，但不包括400mm；镜像分布的垫圈孔的数量为20个，即每个区域中设置有5个垫圈孔，相邻两个垫圈孔的圆心角分别为21.5°、7.5°、22.5°与13.5°。

7.根据权利要求1所述的圆形靶材组件，其特征在于，所述凸台状垫圈孔的小径端直径与大径端直径的比为3:(7-9)。

8.根据权利要求7所述的圆形靶材组件，其特征在于，所述凸台状垫圈孔小径端的厚度与小径端直径的比为3:(3.5-3.8)。

9.根据权利要求8所述的圆形靶材组件，其特征在于，所述凸台状垫圈孔大径端的直径为9.7-9.9mm，大径端的厚度为2.35-2.55mm，小径端的直径为3.5-3.7mm，小径端的厚度为2.9-3.1mm。