[实用新型]一种MEMS陀螺仪及电子产品

权利要求书

1.一种MEMS陀螺仪，其特征在于，所述MEMS陀螺仪包括：

基底；

第一环形件，悬置于所述基底上；

第二环形件，套设于所述第一环形件外侧并与所述第一环形件间隔设置，且悬置于所述基底上；

连接组件，设置于所述第一环形件与所述第二环形件之间且包括第三环形件及多个第一辐条，所述第三环形件套设于所述第一环形件外侧并分别与所述第一环形件及所述第二环形件间隔设置，且悬置于所述基底上，所述多个第一辐条分别连接所述第一环形件与所述第三环形件、所述第二环形件与所述第三环形件；

固定件，与所述基底固定连接，套设于所述第二环形件外侧并与所述第二环形件间隔设置；

第二辐条，连接所述第二环形件及所述固定件；

电极组件，与所述基底固定连接，用于与所述第一环形件、所述第二环形件及所述第三环形件中的至少一个形成电容，以驱动所述第一环形件及所述第二环形件沿相互垂直的第一方向和第二方向振动，并检测所述第一环形件及所述第二环形件沿与所述第一方向的夹角呈45度方向或与所述第一方向的夹角呈135度方向的振动位移。

2.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述电极组件包括第一电极组及第二电极组，所述第一电极组包括第一驱动电极及第一检测电极，所述第一驱动电极与所述第一环形件间隔设置形成第一电容，所述第一电容用于驱动所述第一环形件沿所述第一方向及所述第二方向振动，形成第一振动形态；

所述第二电极组包括第二驱动电极和第二检测电极，所述第二驱动电极与所述第二环形件间隔设置形成第三电容，第三电容用于驱动所述第二环形件沿所述第一方向及所述第二方向振动，形成第二振动形态；

所述第一振动形态与所述第二振动形态异步振动。

3.根据权利要求2所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述第一检测电极与所述第一环形件间隔设置形成第二电容，所述第二电容用于检测所述第一环形件沿所述45度方向或所述135度方向的振动位移，所述第二检测电极与第二环形件间隔设置形成第四电容，所述第四电容用于检测所述第二环形件沿所述45度方向或所述135度方向的振动位移。

4.根据权利要求2所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述第一电极组环形排布于所述第一环形件的内测，所述第二电极组环形排布于所述第二环形件的外侧。

5.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述第一环形件、所述第二环形件及所述第三环形件中的至少一个的数量为多个，所述多个第一环形件和/或所述多个第二环形件和/或所述多个第三环形件彼此间隔设置，所述陀螺仪还包括第三辐条，所述第三辐条连接所述多个第一环形件和/或连接多个第二环形件和/或连接多个第三环形件。

6.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述第一环形件、所述第二环形件及所述第三环形件的外轮廓分别为正8M角星、正8N角星及正8L角星,其中，M、N、L为正整数。

7.根据权利要求6所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述第一环形件、所述第二环形件及所述第三环形件的星角数满足N≥L≥M。

8.根据权利要求6所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述第二辐条的数量为4N个，所述4N个第二辐条沿所述第二环形件的周向阵列排布。

9.根据权利要求2所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述第一电极组及所述第二电极组中的至少一个还包括功能电极，所述功能电极包括用于施力、检测、调频或消除正交误差的多个电极。

10.一种电子产品，其特征在于，所述电子产品包括权利要求1至9任一项所述的MEMS陀螺仪。