[实用新型]一种用于检测石英舟的装置

说明书

本实用新型公开了一种用于检测石英舟的装置，包括水平放置的检测台、以及放置于检测台上的高度尺、标准校验块和石英舟；所述高度尺水平放置于检测台上，高度尺的游标上通过连接杆与平板连接，所述标准校验块放置于平板的下方，平板通过沿高度尺下滑至标准校验块的顶面来校对平面度和高度尺寸；所述石英舟水平放置于检测台上，校对后的平板沿高度尺推入石英舟的槽齿中，以验证石英舟的精度。本实用新型在高度尺的基础上增加连接杆、平板和标准校验块。平板通过连接杆与高度尺连接，与标准校验块校对高度，平面度后。进行模拟硅片使用状态对石英舟4根槽棒垂直度，槽齿的平面度，精度尺寸检测。检测成本低、检测时间短，检测步骤简便，尺寸精度高。

技术领域

本实用新型涉及石英舟检测领域，具体地说，特别涉及到一种用于检测石英舟的装置。

背景技术

在集成电路与光伏扩散工艺制程中，需要由石英舟作为晶圆(硅片)的载体。因此对石英舟的平面度、垂直度、平行度、单个间距尺寸、总的间距尺寸都有相应的要求。

目前对石英舟的检测方法是：采用三坐标检测或用带百分表高度尺分别测4 根槽棒槽齿的尺寸；用直角尺分别测4根槽棒的垂直度；用百分表高度尺测量所得数值相减得出平面度与平行度。

以上检测方法分别存在成本高，检测时间长，检测步骤繁琐，尺寸精度难以保证的缺陷。

实用新型内容

本实用新型的目的在于针对现有技术中的不足，提供一种用于检测石英舟的装置，以解决现有技术中存在的问题。

本实用新型所解决的技术问题可以采用以下技术方案来实现：

一种用于检测石英舟的装置，包括水平放置的检测台、以及放置于检测台上的高度尺、标准校验块和石英舟；

所述高度尺水平放置于检测台上，高度尺的游标上通过连接杆与平板连接，所述标准校验块放置于平板的下方，平板通过沿高度尺下滑至标准校验块的顶面来校对平面度和高度尺寸；

所述石英舟水平放置于检测台上，校对后的平板沿高度尺推入石英舟的槽齿中，以验证石英舟的精度。

进一步的，所述检测台包括四个支撑柱，相邻的支撑柱通过连接柱连接，在支撑柱的顶部设有大理石平板。

进一步的，所述高度尺的游标上设有连接孔，连接杆通过连接孔与游标连接。

进一步的，所述平板通过连接杆与高度尺的游标可拆卸连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：

在高度尺的基础上增加连接杆、平板和标准校验块。平板通过连接杆与高度尺连接，与标准校验块校对高度，平面度后。进行模拟硅片使用状态对石英舟4根槽棒垂直度，槽齿的平面度，精度尺寸检测。检测成本低、检测时间短，检测步骤简便，尺寸精度高。

附图说明

图1为本实用新型所述的用于检测石英舟的装置的示意图。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

参见图1，本实用新型所述的一种用于检测石英舟的装置，包括水平放置的检测台(1)、以及放置于检测台(1)上的高度尺(2)、标准校验块(3)和石英舟(4)；

所述高度尺(2)水平放置于检测台(1)上，高度尺(2)的游标(21)上通过连接杆(5)与平板(6)连接，所述标准校验块(3)放置于平板(6)的下方，平板(6)通过沿高度尺(2)下滑至标准校验块(3)的顶面来校对平面度和高度尺寸；