[实用新型]一种深紫外双光束激光系统

权利要求书

1.一种深紫外双光束激光系统，其特征在于，包括激光器、二倍频晶体、三倍频晶体、波长分离镜、谐振腔、合束片和五倍频晶体；所述激光器射出1064nm激光形成第一光路，所述第一光路上依次设置有二倍频晶体、三倍频晶体、波长分离镜、谐振腔，所述波长分离镜分离出一路532nm激光形成第二光路，谐振腔返回一路355nm激光形成第三光路；所述合束片设置于第二光路与第三光路的相交处，合成一路包含355nm激光和532nm激光的复合光形成第四光路，所述五倍频晶体设置于第四光路上。

2.根据权利要求1所述的深紫外双光束激光系统，其特征在于，所述第一光路上还设置有滤光片，所述滤光片设置于三倍频晶体和波长分离镜之间。

3.根据权利要求1所述的深紫外双光束激光系统，其特征在于，所述第三光路上还设置有355nm反射镜，所述355nm反射镜设置于谐振腔和合束片之间。

4.根据权利要求1所述的深紫外双光束激光系统，其特征在于，所述第二光路上还设置有532nm反射镜，所述532nm反射镜设置于波长分离镜和合束片之间。

5.根据权利要求1所述的深紫外双光束激光系统，其特征在于，所述二倍频晶体和三倍频晶体为LBO晶体。

6.根据权利要求1所述的深紫外双光束激光系统，其特征在于，所述五倍频晶体为BBO晶体。

7.根据权利要求1所述的深紫外双光束激光系统，其特征在于，所述二倍频晶体、三倍频晶体和五倍频晶体设置于恒温防尘罩内，为二倍频晶体、三倍频晶体和五倍频晶体提供稳定的环境。

8.根据权利要求7所述的深紫外双光束激光系统，其特征在于，所述恒温防尘罩包括底板、加热层、温度传感器、罩体和平面镜；所述加热层环绕在底板的周侧形成用于放置晶体的容纳腔；所述温度传感器设置于晶体上，检测晶体的实时温度；所述罩体罩射在加热层外侧；所述加热层两侧的相对位置上设置有第一通孔，所述罩体两侧的相对位置上设置有第二通孔，所述第一通孔与第二通孔在同一直线上，所述平面镜密封安装于第二通孔内。