[实用新型]一种硅晶棒生产加工用压紧夹持工装有效

专利信息
申请号: 202021324446.7 申请日: 2020-07-08
公开(公告)号: CN212669857U 公开(公告)日: 2021-03-09
发明(设计)人: 邓威;佟瑞宏 申请(专利权)人: 辽东学院
主分类号: C30B35/00 分类号: C30B35/00;B28D7/04
代理公司: 沈阳利泰专利商标代理有限公司 21209 代理人: 吴维敬
地址: 118000 辽宁*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅晶棒 生产 工用 压紧 夹持 工装
【说明书】:

实用新型公开了一种硅晶棒生产加工用压紧夹持工装,具体涉及硅加工领域,包括底座,所述安装槽的内侧固定安装有夹紧机构和支撑座,所述弹簧结构的内侧与硅晶棒的外侧滑动连接;所述支撑圆环的内部开设有第一调节机构和第二调节机构,所述第一调节机构包括旋转调节钮、丝杆和限位块;所述连接杆的外侧固定套接有第一滑轮和第二滑轮。本实用新型通过弹簧结构和支撑座结构设计,避免了硅晶棒在安装的过程中与刚性材料磕碰的情况,降低了不必要的成本损失;通过夹紧机构和支撑座结构设计,提高了夹持的稳定性,提升了夹持效果,简化了操作过程,便于工装的修理维护。

技术领域

本实用新型涉及硅加工技术领域,更具体地说,本实用新型具体为一种硅晶棒生产加工用压紧夹持工装。

背景技术

硅晶分为多晶硅和单晶硅,单晶硅是一种良好的半导材料,用于制备半导器件、太阳能电池板等,通常会采用高浓度的多晶硅采用直拉法和区熔法来生产单晶硅棒,在制备的过程中需要对原材料硅晶棒进行加持固定,传统的硅晶棒生产用压紧夹持工装都是设置单一夹持结构进行夹持的。

但是上述技术方案在实际运用时,仍旧存在较多缺点;

一、由于硅晶棒的表面并不均匀,且硅晶棒在常温下质脆易碎,而传统的硅晶棒生产用压紧夹持工装都需要刚性材料作调节机构,操作不慎很容易导致原材料的断裂,造成不必要的成本损失;

二、由于在硅晶棒的生产过程中,对原材料硅晶棒的压紧夹持必须稳定才能达到一定的加工质量,现有硅晶棒生产用压紧夹持工装的夹持效果一般,在生产过程中很容易因为硅晶棒位置的偏移,造成加工质量的下降,给硅晶棒的加工带来一定的困扰。

因此亟需提供一种硅晶棒生产加工用压紧夹持工装。

实用新型内容

为了克服现有技术的上述缺陷,本实用新型的实施例提供一种硅晶棒生产加工用压紧夹持工装,通过弹簧结构、支撑座结构和夹紧机构设计,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种硅晶棒生产加工用压紧夹持工装,包括底座,所述底座的顶端开设有安装槽,所述安装槽的内侧固定安装有夹紧机构和支撑座,所述支撑座的内侧滑动连接有硅晶棒,所述底座的顶面固定安装有固定架,所述固定架的内侧固定连接有弹簧结构,所述弹簧结构的内侧与硅晶棒的外侧滑动连接,所述弹簧结构的内部固定套接有多组弹簧,所述弹簧结构的顶端和两侧与内侧通过弹簧传动连接;

所述夹紧机构包括固定块和支撑圆环,所述固定块的底端与安装槽的内侧固定连接,所述固定块的内侧与支撑圆环的外侧固定连接,所述支撑圆环的内部开设有第一调节机构和第二调节机构,所述第一调节机构包括旋转调节钮、丝杆和限位块,所述旋转调节钮活动套接于支撑圆环的顶端,所述旋转调节钮的内侧螺纹连接有丝杆,所述丝杆沿自身长度贯穿支撑圆环与限位块的顶端固定连接,所述限位块的内侧与硅晶棒的外侧相抵接;

所述支撑座的内侧固定安装有连接杆,所述连接杆的外侧固定套接有第一滑轮和第二滑轮,所述支撑座的内侧开设有滚轮孔,所述第一滑轮和第二滑轮的外侧与滚轮孔的内侧滑动连接,所述支撑座内部的底端固定安装有弹性材料层,所述第二滑轮包括滑轮,所述滑轮的内侧固定套接有固定套件,所述固定套件的内部开设有通孔,所述通孔的内侧与连接杆的外侧滑动连接。

在一个优选地实施方式中,所述限位块呈弧形,所述限位块、弹簧结构的外侧和支撑座的顶面均为弹性耐高温材料。

在一个优选地实施方式中,所述支撑座的内侧和连接杆均呈V字形,所述连接杆由倾斜杆和水平杆焊接组成,所述水平杆的外侧与通孔的内侧滑动连接。

在一个优选地实施方式中,所述第二调节机构与第一调节机构的结构相同布置方向相互垂直,所述第二调节机构的数量为两个,所述两个第二调节机构对称分布于硅晶棒的两侧。

在一个优选地实施方式中,所述第一滑轮的数量为若干个,所述若干个第一滑轮对称分布于连接杆的外侧。

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