[实用新型]一种用于芯片制造的废料回收装置

权利要求书

1.一种用于芯片制造的废料回收装置，包括废料回收装置本体(2)，其特征在于：所述废料回收装置本体(2)的顶部固定连接有进料管道(1)，所述废料回收装置本体(2)的内壁固定连接有粉碎片(3)，所述废料回收装置本体(2)的内壁活动连接有转轴(5)，所述转轴(5)的外壁活动连接有粉碎筒(4)，所述转轴(5)的一端贯穿废料回收装置本体(2)的内壁并延伸至废料回收装置本体(2)的外壁，所述废料回收装置本体(2)的外壁固定连接有电机(20)，所述电机(20)的输出轴通过联轴器与转轴(5)活动连接，所述废料回收装置本体(2)的内壁固定连接有过滤板(6)，所述过滤板(6)的一侧固定连接有连接板(19)，所述连接板(19)的底部固定连接有倒液板(10)，所述倒液板(10)的一侧与废料回收装置本体(2)的内壁固定连接，所述废料回收装置本体(2)的外壁开设有出液口(9)；

所述废料回收装置本体(2)的外壁活动连接有液压杆(11)，所述液压杆(11)的一端贯穿废料回收装置本体(2)的外壁并延伸至废料回收装置本体(2)的内部，所述液压杆(11)的一端活动连接有压板(12)，所述废料回收装置本体(2)的正面活动连接有出料板(13)，所述废料回收装置本体(2)的外壁开设有第一连接通孔(8)，所述废料回收装置本体(2)通过第一连接通孔(8)活动连接有抽板(7)，所述废料回收装置本体(2)的外壁固定连接有储液桶(16)，所述储液桶(16)的底部活动连接有进液管(15)，所述废料回收装置本体(2)的外壁开设有第二连接通孔(14)，所述进液管(15)的一端通过第二连接通孔(14)贯穿废料回收装置本体(2)的外壁并延伸至废料回收装置本体(2)的内部。

2.根据权利要求1所述的一种用于芯片制造的废料回收装置，其特征在于：所述粉碎片(3)的形状大小与粉碎筒(4)的形状大小均相互匹配，且粉碎片(3)的数量与粉碎筒(4)的数量均为两个，且每一个粉碎片(3)和每一个粉碎筒(4)为一组，且两组粉碎片(3)和粉碎筒(4)关于废料回收装置本体(2)的横向中心线对称分布。

3.根据权利要求1所述的一种用于芯片制造的废料回收装置，其特征在于：所述过滤板(6)为网格状过滤板，且过滤板(6)和倒液板(10)分别为倾斜状过滤板和倾斜状倒液板，且过滤板(6)的数量、连接板(19)数量和倒液板(10)的数量均两个，且两个过滤板(6)、两个连接板(19)和两个倒液板(10)均关于废料回收装置本体(2)的横向中心线对称分布。

4.根据权利要求1所述的一种用于芯片制造的废料回收装置，其特征在于：所述出液口(9)的数量为两个，两个出液口(9)均位于两个倒液板(10)的一侧，且两个出液口(9)关于废料回收装置本体(2)的横向中心线对称分布。

5.根据权利要求1所述的一种用于芯片制造的废料回收装置，其特征在于：所述废料回收装置本体(2)的正面开设有观察槽，且观察槽的内壁固定连接有观察玻璃(17)。

6.根据权利要求1所述的一种用于芯片制造的废料回收装置，其特征在于：所述过滤板(6)靠近储液桶(16)一侧的底部固定连接有限位板(18)，所述废料回收装置本体(2)的外壁活动连接有抽板(7)，且抽板(7)的一侧贯穿废料回收装置本体(2)的外壁并延伸至两个连接板(19)的一侧，且抽板(7)的形状大小与限位板(18)的形状大小均相互匹配，且抽板(7)与限位板(18)卡合连接。

7.根据权利要求1所述的一种用于芯片制造的废料回收装置，其特征在于：所述出料板(13)的正面固定连接有拉环，且出料板(13)的中心线与废料回收装置本体(2)的中心线重合。