[实用新型]一种化学气相沉积炉热电偶密封安装机构

说明书

本实用新型提供一种化学气相沉积炉热电偶密封安装机构。化学气相沉积炉热电偶密封安装机构，包括：炉体；插孔，所述插孔开设在炉体的一侧上；热电偶，所述热电偶滑动安装在插孔内，所述热电偶的一端延伸至炉体外；两个方块，两个所述方块均固定安装在炉体的一侧上；两个装孔，两个所述装孔分别开设在两个所述方块相互靠近的一侧上；两个弧形块，两个所述弧形块均设在两个所述方块之间，两个所述弧形块相适配；两个定块，两个所述定块分别固定安装在对应的所述弧形块上。本实用新型提供的化学气相沉积炉热电偶密封安装机构具有使用方便、便于对热电偶进行安装跟换，保证热电偶连接的稳定连接性的优点。

技术领域

本实用新型涉及化学气相沉积技术领域，尤其涉及一种化学气相沉积炉热电偶密封安装机构。

背景技术

化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术，化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料，化学气相沉积炉是专门用于反映的设备，为了便于炉内温度进行检测控制，通常会在化学气相沉积炉上都会安装热电偶直接测量温度，并把温度信号转换成热电动势信号，通过电气仪表转换成被测介质的温度。

传统的，化学气相沉积炉上的热电偶多为固定安装，但是热电偶一旦发生损坏需要进行更换时操作就会极为不便，在对热电偶安装的过程中无法保证炉体与热电偶之间的连接性和炉体的密封性。

因此，有必要提供一种化学气相沉积炉热电偶密封安装机构解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题是提供一种使用方便、便于对热电偶进行安装跟换，保证热电偶连接的稳定连接性的化学气相沉积炉热电偶密封安装机构。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的化学气相沉积炉热电偶密封安装机构，包括：炉体；插孔，所述插孔开设在炉体的一侧上；热电偶，所述热电偶滑动安装在插孔内，所述热电偶的一端延伸至炉体外；两个方块，两个所述方块均固定安装在炉体的一侧上；两个装孔，两个所述装孔分别开设在两个所述方块相互靠近的一侧上；两个弧形块，两个所述弧形块均设在两个所述方块之间，两个所述弧形块相适配；两个定块，两个所述定块分别固定安装在对应的所述弧形块上；两个转杆，两个所述转杆分别转动螺纹安装在对应的所述方块上，两个所述转杆的一端分别与对应的所述定块转动连接；四个L杆，四个所述L杆分别固定安装在两个所述装孔的内壁上，四个所述L杆呈矩形列阵分布；四个条杆，四个所述条杆分别滑动安装在对应的所述L杆上，四个所述分别与对应的所述弧形块固定连接；四个运动槽，四个所述运动槽分别开设在对应的所述条杆上，四个所述L杆分别在对应的所述运动槽内滑动运动。

优选的，所述炉体的底部固定安装有四个支起脚，四个所述支起脚呈矩形列阵分布。

优选的，两个所述方块上均开设有条状槽，两个所述条状槽的内壁上均设有内螺纹，两个所述转杆上均设有外螺纹，两个所述转杆分别与对用的所述条状槽螺纹连接，两个所述转杆相互远离的一端均固定安装有手调转块，两个所述弧形块的一侧均固定安装有密封块，两个所述密封块均与插孔相适配。

优选的，所述炉体的一侧固定安装有撑板，所述撑板上设有两个转轴。

优选的，所述撑板的顶部固定安装有电机，所述电机的输出轴与对应的所述转轴的一端固定连接，两个所述转轴上均固定套设有齿轮，两个所述齿轮相啮合。

优选的，两个所述转轴上均焊接有连杆，两个所述连杆上均固定安装有夹块，两个所述夹块均与热电偶相适配，两个所述转轴均转动安装在撑板上，所述撑板上固定安装有两个支撑块，两个所述支撑块分别与对应的所述转轴转动连接。

与相关技术相比较，本实用新型提供的化学气相沉积炉热电偶密封安装机构具有如下有益效果：