[实用新型]一种陶瓷片浮动机构

说明书

本实用新型提供了一种陶瓷片浮动机构，所述的浮动机构包括左右排列设置的两个滑轨组件、设于两个滑轨组件之间的能够沿所述的滑轨组件上下滑动的陶瓷片固定装置、固定于两个滑轨组件上的浮动安装板，所述的陶瓷片固定装置与所述的浮动安装板之间设置有至少一个弹簧。本实用新型的陶瓷片浮动机构，能够将陶瓷片压在硅片表面，移动浮动机构就能够使陶瓷片与硅片之间产生摩擦，调节浮动机构的高度，就可以调节陶瓷片对硅片表面的压力，准确的测出硅片的耐磨性能。

技术领域

本实用新型涉及硅片测试领域，具体涉及一种陶瓷片浮动机构。

背景技术

硅片是太阳能电池片的载体，硅片质量的好坏直接决定了太阳能电池片转换效率的高低，太阳能电池需要一个大面积的PN结以实现光能到电能的转换，而扩散炉即为制造太阳能电池PN结的专用设备。管式扩散炉主要由石英舟的上下载部分、废气室、炉体部分和气柜部分等四大部分组成。扩散一般用三氯氧磷液态源作为扩散源。把P型硅片放在管式扩散炉的石英容器内，在850---900摄氏度高温下使用氮气将三氯氧磷带入石英容器，通过三氯氧磷和硅片进行反应，得到磷原子。经过一定时间，磷原子从四周进入硅片的表面层，并且通过硅原子之间的空隙向硅片内部渗透扩散，形成了N型半导体和P型半导体的交界面，也就是PN结。

在硅片的加工过程中需要测试硅片的耐磨性，通常是用陶瓷片对硅片表面进行摩擦，从而观察硅片的磨损程度，来判断硅片的耐磨性。而现有技术中的陶瓷片与硅片之间的压力不可控，无法准确的测试出硅片的耐磨性能。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种陶瓷片浮动机构。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种陶瓷片浮动机构，所述的浮动机构包括左右排列设置的两个滑轨组件、设于两个滑轨组件之间的能够沿所述的滑轨组件上下滑动的陶瓷片固定装置、固定于两个滑轨组件上的浮动安装板，所述的陶瓷片固定装置与所述的浮动安装板之间设置有至少一个弹簧。

优选地，所述的陶瓷片固定装置包括弹簧浮动板、位于所述的弹簧浮动板下侧的陶瓷片固定板，所述的陶瓷片被夹设于所述的弹簧浮动板与所述的陶瓷片固定板之间。

优选地，所述的浮动安装板的下表面与所述的弹簧浮动板的上表面设置有多对相互对应的弹簧安装槽，所述的弹簧的上下两端可拆卸的安装在所述的弹簧安装槽内。

优选地，所述的滑轨组件包括滑轨安装板、沿上下方向设置于所述的滑轨安装板上的滑轨。

优选地，所述的浮动机构还包括多个螺杆，所述的螺杆的尾部与所述的弹簧浮动板螺纹连接，所述的螺杆的头部穿过所述的浮动安装板，所述的螺杆与所述的浮动安装板可滑动的连接。

本实用新型的陶瓷片浮动机构，能够将陶瓷片压在硅片表面，移动浮动机构就能够使陶瓷片与硅片之间产生摩擦，调节浮动机构的高度，就可以调节陶瓷片对硅片表面的压力，准确的测出硅片的耐磨性能。

附图说明

图1是本申请的陶瓷片浮动机构的结构示意图。

其中：1、浮动安装板；2、滑轨安装板；3、滑轨；4、弹簧；5、螺杆；6、弹簧浮动板；7、陶瓷片固定板；8、陶瓷片；9、弹簧安装槽。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。