[实用新型]一种除尘罩、除尘装置和激光切割装置有效
申请号: | 202021304458.3 | 申请日: | 2020-07-03 |
公开(公告)号: | CN213224765U | 公开(公告)日: | 2021-05-18 |
发明(设计)人: | 叶贤斌;李文强;杨建新;张凯 | 申请(专利权)人: | 深圳泰德半导体装备有限公司 |
主分类号: | B23K26/38 | 分类号: | B23K26/38;B23K26/70 |
代理公司: | 深圳市恒程创新知识产权代理有限公司 44542 | 代理人: | 赵爱蓉 |
地址: | 518000 广东省深圳市坪山区龙田街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 除尘 装置 激光 切割 | ||
1.一种除尘罩(100),其特征在于,包括:
围壁(30),所述围壁(30)内部形成有腔室,所述围壁(30)上端形成有与所述腔室连通的上端口,所述围壁(30)下端形成有与所述腔室连通的下端口;
上气帘(10),所述上气帘(10)安装于所述围壁(30)的上端口处,所述上气帘(10)设置有供激光射入所述腔室的镜片(12),所述上气帘(10)设置有用以与外部气源连接的进气口(16)以及位于所述镜片(12)下方的出气口(14),所述出气口(14)朝向所述镜片(12)平行方向吹气。
2.如权利要求1所述的一种除尘罩(100),其特征在于,所述出气口(14)设置于所述镜片(12)一侧。
3.如权利要求2所述的一种除尘罩(100),其特征在于,所述出气口(14)的长度大于所述镜片(12)的直径。
4.如权利要求3所述的一种除尘罩(100),其特征在于,所述出气口(14)与所述镜片(12)沿上下方向的垂直距离为0.5-5mm。
5.如权利要求4所述的一种除尘罩(100),其特征在于,所述出气口(14)的孔径为0.5-2mm。
6.如权利要求1所述的一种除尘罩(100),其特征在于,所述围壁(30)还设置有与所述腔室连通的多个抽尘口(34),多个所述抽尘口(34)在所述围壁(30)的周向上间隔排布。
7.如权利要求6所述的一种除尘罩(100),其特征在于,还包括:
抽尘组件(40),所述抽尘组件(40)的一端设置有多个与所述抽尘口(34)一一对应连通的对接口(401),所述抽尘组件(40)的另一端形成有抽尘接口(403)。
8.如权利要求7所述的一种除尘罩(100),其特征在于,多个所述抽尘口(34)沿所述围壁(30)周向排布的弧形对应的弧度为60°~120°。
9.一种除尘装置,其特征在于,包括权利要求1-8任一项所述的除尘罩(100),和与所述除尘罩(100)连接的抽尘机。
10.一种激光切割装置,其特征在于,包括激光发射装置和权利要求9所述的除尘装置。
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