[实用新型]一种化学过滤器

说明书

本实用新型公开了一种化学过滤器，包括框架和过滤单元，还包括检测机构，所述检测机构包括由腐蚀试片A、腐蚀试片B、电阻R₁、电阻R₂组成的惠斯通电桥，且腐蚀试片A和电阻R₁组成一支路，腐蚀试片B和电阻R₂组成另一支路；该惠斯通电桥的检流计为电压表或电流表；所述电阻R₁、电阻R₂相等；所述腐蚀试片A设于所述过滤单元的上游入口处，所述腐蚀试片B设于所述过滤单元的下游出口处。本实用新型的化学过滤器大大提高了检测的灵敏度。

技术领域

本实用新型涉及送风过滤领域，具体涉及一种能检测腐蚀性气体、氨气以及VOC的化学过滤器。

背景技术

化学过滤器能够有效去除洁净室和相关受控环境中的各类有害气体，如腐蚀性气体。过滤材料采用特殊浸渍处理的颗粒活性炭、或离子交换树酯、高氧化性能的微球吸附剂，针对性强，吸附后不易解析，不产生二次污染。化学过滤器一般配合FFU使用，化学过滤器安装于FFU的入风口处，以对通过FFU送入洁净空间的空气进行气体过滤与净化。

现有技术中，通常采用点监测的方法实时监测洁净空间中的腐蚀性气体，即对洁净空间中布置多个采样点，然后将采集到的气体通过管路送至分析设备，分析设备对气体进行分析以测定气体中是否含有腐蚀性气体，如含有，则及时停止采样点所在位置的机台的工作，防止产品被污染。

然而，在洁净空间中布置多个采样点并且通过管路采样然后进行气体分析存在以下缺陷：首先，受限于管路的长度，对于大面积的厂房无法做到采样点的全面覆盖，无法做到全面监测；其次，由于每台分析设备连接多个不同的采样点，分析设备中会残留有前道分析的气流，无法保证后道分析气体的纯度，监测不准确；再次，由于每台分析设备可以连接的管路是有限的，所以连接的采样点也是有限的，需要配备多台分析设备，分析设备仪器昂贵，成本高。综上所述，采用点监测的方法，很难做到监测的全面性和准确性且成本高昂。

因此开发一种能够实现腐蚀性气体检测的全面性和准确性且节省成本的化学过滤器成为了本领域的急需技术。对此，中国实用新型专利201821266741.4公开了一种能检测腐蚀性气体的化学过滤器，其主要原理是利用与流经化学过滤器通道结构的腐蚀性气体接触的腐蚀试片和腐蚀性气体发生反应而导致电阻变化，然后用检测单元检测该腐蚀试片的电性能参数，从而判断化学过滤器内是否有腐蚀性气体通过。

然而，实际应用发现，上述化学过滤器存在如下应用缺点：(1)该专利技术仅能测知有无腐蚀气体通过及通过的腐蚀性气体的浓度变化趋势，并无法知道化学过滤器的使用寿命状况；(2)除了常见的腐蚀性气体，一些更微量的有害气体(如氨气、VOC)因含量更少而无法被检测出。

因此，开发一种高检测灵敏度的化学过滤器，显然具有更佳的现实意义。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种高检测灵敏度的化学过滤器。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种化学过滤器，包括框架和过滤单元，还包括检测机构，所述检测机构包括由腐蚀试片A、腐蚀试片B、电阻R₁、电阻R₂组成的惠斯通电桥，且腐蚀试片A和电阻R₁组成一支路，腐蚀试片B和电阻R₂组成另一支路；该惠斯通电桥的检流计为电压表或电流表；

所述电阻R₁、电阻R₂相等；

所述腐蚀试片A设于所述过滤单元的上游入口处，所述腐蚀试片B设于所述过滤单元的下游出口处。