[实用新型]一种加压加热的防褶皱3D纳米压印装置有效

专利信息
申请号: 202021283685.2 申请日: 2020-07-03
公开(公告)号: CN212160346U 公开(公告)日: 2020-12-15
发明(设计)人: 郑宝瑞 申请(专利权)人: 瑞宏精密电子(太仓)有限公司
主分类号: G03F7/00 分类号: G03F7/00;B82Y40/00
代理公司: 苏州市方略专利代理事务所(普通合伙) 32267 代理人: 李玉婷
地址: 215400 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 加压 加热 褶皱 纳米 压印 装置
【权利要求书】:

1.一种加压加热的防褶皱3D纳米压印装置,其特征在于:包括上模座(1)、下模座(2)、治具(3)、薄膜(4)、上箱体(5)、下箱体(6)、空气压缩机(7)、电加热器(8)、上模座驱动气缸(9)、下模座驱动气缸(10)、压印支撑架(20)和工作台(30),所述压印支撑架(20)设置在工作台(30)上,所述上模座驱动气缸(9)固定设置在压印支撑架(20)上,并且上模座驱动气缸(9)的活塞杆和上箱体(5)连接,所述上模座(1)固定设置在上箱体(5)的内部,所述下模座驱动气缸(10)设置在工作台(30)上,并且下模座驱动气缸(10)的活塞杆和下模座(2)连接,所述治具(3)固定设置在下模座(2)的上端面上,所述上模座(1)和下模座(2)上下正对设置,所述上箱体(5)可罩设在下箱体(6)上,并且上箱体(5)和下箱体(6)可形成密封腔体(100),所述薄膜(4)设置在上箱体(5)和下箱体(6)之间,并且薄膜(4)将密封腔体(100)分为上腔体(101)和下腔体(102),所述上模座(1)位于上腔体(101)内,所述下模座(2)和治具(3)位于下腔体(102)内,所述薄膜(4)位于上箱体(5)和下箱体(6)内的部分处于上模座(1)和治具(3)之间,所述电加热器(8)和下箱体(6)连接,所述空气压缩机(7)通过气管和上模座(1)连接,所述上模座(1)上设有一组气体喷嘴(11),所述空气压缩机(7)通过气管和一组气体喷嘴(11)连通。

2.根据权利要求1所述的加压加热的防褶皱3D纳米压印装置,其特征在于:所述治具(3)包括治具底座(31)和治具上件(32),所述治具底座(31)和下模座(2)固定连接,所述治具上件(32)设置在治具底座(31)上。

3.根据权利要求2所述的加压加热的防褶皱3D纳米压印装置,其特征在于:所述治具底座(31)的截面为矩形,并且治具底座(31)上端面的四个角部上设有L型避让凸块(33),所述治具上件(32)位于L型避让凸块(33)所构成的矩形截面内。

4.根据权利要求1所述的加压加热的防褶皱3D纳米压印装置,其特征在于:所述压印支撑架(20)上设有气缸安装板(201),所述下模座驱动气缸(10)固定设置在气缸安装板(201)上,所述气缸安装板(201)的上端面上设有一组导向柱一(202),所述下模座(2)和下箱体(6)均与一组导向柱一(202)滑动连接。

5.根据权利要求4所述的加压加热的防褶皱3D纳米压印装置,其特征在于:所述压印支撑架(20)为龙门架体结构,所述压印支撑架(20)的两个竖直立柱的内侧壁上沿竖直方向设有滑轨一(203),所述滑轨一(203)上设有滑块一(204),所述滑块一(204)和滑轨一(203)滑动连接,并且滑块一(204)和下箱体(6)的外壁固定连接,所述滑块一(204)可通过螺栓固定在压印支撑架(20)的竖直立柱上。

6.根据权利要求5所述的加压加热的防褶皱3D纳米压印装置,其特征在于:所述压印支撑架(20)的上端横梁上设有一组导向柱二(205),所述上箱体(5)靠近压印支撑架(20)竖直立柱的两侧外壁上固定设有导向滑板(51),所述导向滑板(51)和一组导向柱二(205)滑动连接。

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