[实用新型]一种氦气回收用深冷阀

权利要求书

1.一种氦气回收用深冷阀，其特征在于，它包括一金属管道、一金属延长杆、一气动执行器、一连接块、一四氟密封环、一波纹密封管，其中所述金属管道具有一内腔，所述金属延长杆、所述气动执行器、所述连接块、所述四氟密封环和所述波纹密封管都置于所述内腔中，且所述金属延长杆的外径小于所述内腔的内径；在所述金属延长杆的靠近所述气动执行器的一端上设有一螺纹连接头，通过所述螺纹连接头，所述金属延长杆和所述波纹密封管连接在一起，所述四氟密封环被放置于所述连接块和所述波纹密封管之间，以此防止氦气从所述四氟密封环部位泄漏。

2.根据权利要求1所述的氦气回收用深冷阀，其特征在于，所述气动执行器和所述连接块连接于一起，且在所述气动执行器工作时能带动所述连接块在所述内腔中滑动，继而带动所述金属延长杆在所述内腔中滑动。

3.根据权利要求1所述的氦气回收用深冷阀，其特征在于，还包括一阀芯，其中所述阀芯被放置在所述金属延长杆的另一端。

4.根据权利要求3所述的氦气回收用深冷阀，其特征在于，所述阀芯具有至少三阀芯嘴，三阀芯嘴彼此之间两两互通。

5.根据权利要求4所述的氦气回收用深冷阀，其特征在于，还包括二氦气流通道，二所述氦气流通道固定连接于所述金属管道上。

6.根据权利要求5所述的氦气回收用深冷阀，其特征在于，所述阀芯的其中二阀芯嘴分别与两个氦气流通道流体连通所述阀芯的另一个阀芯嘴与所述金属延长杆流体连通，从而使得当所述气动执行器工作时，氦气从所述氦气流通道进入到所述阀芯嘴，继而流入到所述金属延长杆，从而达到回收氦气的目的。