[实用新型]一种半导体纯水处理系统的保安过滤器

说明书

本实用新型是一种半导体纯水处理系统的保安过滤器，其结构包括筒体和分别与筒体上下两端连接的上盖和下盖，上盖通过若干个吊环螺丝连接筒体上端，筒体内侧下端设底板，底板上设有若干个卡槽，筒体内侧上端设有聚丙烯保持架，聚丙烯保持架上设有与卡槽一一对应的孔，滤芯穿过聚丙烯保持架上的孔、底端嵌入底板上的卡槽内。本实用新型的优点：结构设计合理，聚丙烯保持架通过螺丝与环形连接板安装固定，方便快捷且不影响整体重量，滤芯穿过聚丙烯保持架且通过密封圈固定，然后限位在底部底板卡槽内，最后通过上盖密封，上盖与筒体通过吊环螺丝固定，提高了连接稳定性。

技术领域

本实用新型涉及的是一种半导体纯水处理系统的保安过滤器，属于水处理设备技术领域。

背景技术

在半导体制作工艺中，80％以上的工序都要经过化学处理，而每一道化学处理都离不开超纯水。在硅片的处理工序中，一半以上的工序经过超纯水清洗后便直接进入高温处理过程，此时如果水中含有杂质便会进入硅片，造成器件性能下降，成品率低。电子工业提出的超纯水电阻率≥18MΩ·cm(25℃)，已极其接近理论纯水水质18.3MΩ·cm(25℃)。

现有技术有用于生产半导体制作所需超纯水的处理系统，其中保安过滤器是处理系统的重要组成，在原水中的悬浮颗粒经过活性炭预处理设备仍残留一些细小颗粒，若这些杂质颗粒随着进水直接进入RO设备，长期下来会造成膜的堵塞，故设置保安过滤器保护RO膜。现有技术中的保安过滤器存在上盖与筒体之间容易松动，以及滤芯与上盖不能完全密封的情况，现有技术有设置保持架对滤芯进行定位的设计，然而其保持架结构较为复杂，生产成本较高。

实用新型内容

本实用新型提出的是一种半导体纯水处理系统的保安过滤器，其目的旨在克服现有技术存在的上述缺陷，通过合理化结构设计，提高上盖与筒体连接稳定性，以及简化滤芯保持架结构。

本实用新型的技术解决方案：一种半导体纯水处理系统的保安过滤器，其结构包括筒体和分别与筒体上下两端连接的上盖和下盖，上盖通过若干个吊环螺丝连接筒体上端，筒体内侧下端设底板，底板上设有若干个卡槽，筒体内侧上端设有聚丙烯保持架，聚丙烯保持架上设有与卡槽一一对应的孔，滤芯穿过聚丙烯保持架上的孔、底端嵌入底板上的卡槽内。

优选的，所述的筒体内壁设有环形连接板，聚丙烯保持架放置在环形连接板上并通过螺丝固定。

优选的，所述的上盖与筒体上端之间还设有密封环。

优选的，所述的聚丙烯保持架上的孔与滤芯之间设有密封圈。

本实用新型的优点：结构设计合理，聚丙烯保持架通过螺丝与环形连接板安装固定，方便快捷且不影响整体重量，滤芯穿过聚丙烯保持架且通过密封圈固定，然后限位在底部底板卡槽内，最后通过上盖密封，上盖与筒体通过吊环螺丝固定，提高了连接稳定性。

附图说明

图1是本实用新型一种半导体纯水处理系统的保安过滤器的结构示意图。

图中的1是筒体、2是上盖、3是下盖、4是底板、5是卡槽、6是滤芯、7是聚丙烯保持架、8是环形连接板、9是螺丝、10是密封圈、11是吊环螺丝、12是密封环。

具体实施方式

下面结合实施例和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

如图1所示，一种半导体纯水处理系统的保安过滤器，其结构包括筒体1和分别与筒体1上下两端连接的上盖2和下盖3，上盖2通过若干个吊环螺丝11连接筒体1上端，筒体1内侧下端设底板4，底板4上设有若干个卡槽5，筒体1内侧上端设有聚丙烯保持架7，聚丙烯保持架7 上设有与卡槽5一一对应的孔，滤芯6穿过聚丙烯保持架7上的孔、底端嵌入底板4上的卡槽5内。

所述的筒体1内壁设有环形连接板8，聚丙烯保持架7放置在环形连接板8上并通过螺丝9固定。

所述的上盖2与筒体1上端之间还设有密封环12。