[实用新型]一种防结露的低温磁场探测台

说明书

一种防结露的低温磁场探测台，包括工作台，所述工作台上设有磁场探针主体，所述磁场探针主体顶部设有封盖显微镜，所述磁场探针主体侧面设有探针滑座，所述探针滑座上设有探针螺纹杆，所述探针螺纹杆上套接有探针块，所述工作台内设有驱动机构，所述驱动机构与所述探针螺纹杆连接；所述工作台下方设有支撑板，所述支撑板上设有防结露机构和降温机构且通过通道与所述磁场探针主体连接，所述通道与所述磁场探针主体之间设有封闭机构，所述封闭机构内设有温度传感器；所述防结露机构在所述支撑板上设有防结露盒。本实用新型通过防结露机构和降温机构协同保持低温的同时，避免磁场探针主体内出现结露或结霜的情况，提高探测的精准度。

技术领域

本实用新型涉及检测设备技术领域，尤其涉及一种防结露的低温磁场探测台。

背景技术

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。

低温磁场探测台可以对器件进行非破坏性的测试，可以对材料或器件的电学特性、光电特性等效应进行测量，为DC测量RF测量和微波特性测量提供一个低温测试平台。纳米电子材料、量子线、量子点和半导体材料是在探针台上进行测量的比较典型的材料。探针台系统的探针、测试电缆、样品台都有多种类型可供选择，从而满足不同用户的需要。

现有技术中，低温磁场探测台一般采用液氮进行降温以实现降温的效果。但是液氮容易快速降温，会使得空气中的水分在设备表面结露甚至结霜，会对设备造成一定的损伤，也会对探测结果造成一定的影响。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术的缺点，而提出了一种防结露的低温磁场探测台。

一种防结露的低温磁场探测台，其特征在于，包括工作台，所述工作台上设有磁场探针主体，所述磁场探针主体顶部设有封盖显微镜，所述磁场探针主体侧面设有探针滑座，所述探针滑座上设有探针螺纹杆，所述探针螺纹杆上套接有探针块，所述工作台内设有驱动机构，所述驱动机构与所述探针螺纹杆连接；

所述工作台下方设有支撑板，所述支撑板上设有防结露机构和降温机构，所述防结露机构和所述降温机构通过通道与所述磁场探针主体连接，所述通道与所述磁场探针主体之间设有封闭机构，所述封闭机构内设有温度传感器；

所述防结露机构在所述支撑板上设有防结露盒，所述防结露盒内一侧设有进风口且另一侧与所述通道连接，所述防结露盒内设有吸水板、第一风扇和加热丝；

所述降温机构在所述支撑板上设有降温盒，所述降温盒侧面与所述通道连接，所述降温盒内设有液氮抽盒和第二风扇；

所述封闭机构设在所述工作台内且设有封闭盒，所述封闭盒内设有封闭滑槽，所述封闭滑槽内设有封闭板，所述封闭板两侧穿有封闭螺纹杆，所述封闭螺纹杆端部穿出所述封闭滑槽，所述螺纹杆旁设有封闭电机，所述封闭电机和所述封闭螺纹杆上设有封闭齿轮，所述封闭齿轮啮合。

优选的，所述驱动机构设有蜗杆，所述蜗杆端部和所述探针螺纹杆端部设有探针传动轮，所述探针传动轮通过传送带连接，所述蜗杆旁商设有驱动电机，所述驱动电机和所述蜗杆设有驱动齿轮且所述驱动齿轮啮合。

优选的，所述磁场探针主体旁设有支架杆，所述支架杆上设有固定滑块，所述固定滑块与所述封盖显微镜连接。

优选的，所述探针滑座设有四个且相对两个为一组，每组所述探针滑座上设有的探针螺纹杆的螺纹对称。

优选的，所述封闭螺纹杆上设有对称的螺纹段。

优选的，所述防结露盒的所述进风口设有滤网，所述液氮抽盒为抽屉式结构且侧面设有通孔。

优选的，所述蜗杆设有两个且相互垂直啮合。