[实用新型]一种衍射光学元件检测系统

权利要求书

1.一种衍射光学元件检测系统，其特征在于，包括光源，以及沿光源出射方向依次设置的锥光镜和图像采集器，所述锥光镜包括傅里叶变换透镜组，衍射光学元件设置于所述光源和所述锥光镜之间，且位于所述锥光镜的焦点位置；

还包括控制器，所述图像采集器采集通过所述衍射光学元件和所述锥光镜后形成的衍射图像并发送给所述控制器，所述控制器对所述衍射图像进行处理分析以得到所述衍射光学元件的光学性能。

2.根据权利要求1所述的衍射光学元件检测系统，其特征在于，所述傅里叶变换透镜组包括沿光源出射方向依次设置第一平凸透镜、第二平凸透镜和第一双凸透镜，其中，所述第一平凸透镜的平面一侧的主光轴的中心处设有弧形凹槽，所述弧形凹槽的弧形凸向出射方向。

3.根据权利要求1或2所述的衍射光学元件检测系统，其特征在于，所述锥光镜还包括汇聚透镜组，所述汇聚透镜组位于所述傅里叶变换透镜组和所述图像采集器之间，所述汇聚透镜组用于对经所述傅里叶变换透镜组后形成的衍射图像进行倍率缩小后入射所述图像采集器。

4.根据权利要求3所述的衍射光学元件检测系统，其特征在于，所述汇聚透镜组包括沿光源出射方向依次设置的第二双凸透镜、第三平凸透镜、第三双凸透镜和第四平凸透镜，其中，所述第三平凸透镜和所述第四平凸透镜的平面一侧的主光轴的中心处均设有弧形凹槽，所述弧形凹槽的弧形凸向所述光源方向。

5.根据权利要求1所述的衍射光学元件检测系统，其特征在于，所述光源出光侧设有准直镜，用于对所述光源出射的光束进行准直后入射所述衍射光学元件。

6.根据权利要求1所述的衍射光学元件检测系统，其特征在于，所述光源为半导体激光器。

7.根据权利要求1所述的衍射光学元件检测系统，其特征在于，所述衍射光学元件的光学性能包括：衍射级数量和位置、衍射效率、零级大小、全局均匀性。