[实用新型]样品采集装置

说明书

本实用新型涉及一种样品采集装置，用于通过化学溶剂采集容器内的污染物，包括底座和和设置于所述底座上的倾斜结构、旋转结构和承载结构，所述承载结构，包括一用于承载待采集容器的承载台；所述旋转结构，包括与所述承载台连接的第一传动部，通过所述第一传动部控制所述承载台旋转的旋转驱动部；所述倾斜结构，包括与所述承载台连接的第二传动部，通过所述第二传动部控制所述承载台沿着预设方向倾斜的倾斜驱动部。

技术领域

本实用新型涉及晶圆制作技术领域，尤其涉及一种样品采集装置。

背景技术

现有容器内部样品采集方法是用干净的PFA瓶子取100ml或者50ml溶剂倒入容器内，通过人为的剧烈晃动，使溶剂在容器内流动，覆盖到容器所有内壁，再将容器内溶剂倒回PFA瓶，并用ICP-MS测试溶剂中的金属含量。这种方法存在的不足是人为的晃动容器取样效果无法得到保障，每一次的取样的结果都存在差异，没有明确的定义和标准，使取样过程无法量化，存在污染物含量不能被准确测量的风险。且开口容器在晃动过程中取样液容易洒出，会对人和环境都造成危害。此外，容器较重，人工晃动过程中容易产生疲劳，有手滑造成脱手风险，导致容器脱离双手，砸伤脚等不安全因素。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种样品采集装置，解决污染物不能准确测量的问题。

为了达到上述目的，本实用新型实施例采用的技术方案是：一种样品采集装置，用于通过化学溶剂采集容器内的污染物，包括底座和和设置于所述底座上的倾斜结构、旋转结构和承载结构，

所述承载结构，包括一用于承载待采集容器的承载台；

所述旋转结构，包括与所述承载台连接的第一传动部，通过所述第一传动部控制所述承载台旋转的旋转驱动部；

所述倾斜结构，包括与所述承载台连接的第二传动部，通过所述第二传动部控制所述承载台沿着预设方向倾斜的倾斜驱动部。

可选的，所述倾斜驱动部包括设置于所述底座上的多个驱动电机，所述第二传动部包括设置于所述底座上的主轴，所述主轴外套设有与所述驱动电机数量相同的轴套，每个所述轴套安装有与相应的所述驱动电机的主动齿轮传动连接的从动齿轮，所述第二传动部还包括数量与所述轴套的数量相同的多组连接杆组件，每组连接杆组件连接于相应的所述轴套和所述承载台之间，且多组所述连接杆组件均匀分布于所述承载台的周向侧面，在部分所述驱动电机的驱动下，相应的所述连接杆组件带动所述承载台移动、以使得所述承载台沿着预设方向倾斜。

可选的，所述驱动电机包括第一驱动电机、第二驱动电机和第三驱动电机，所述第一驱动电机通过连接轴连接有第一主动齿轮，所述第二驱动电机通过连接轴连接有第二主动齿轮，所述第三驱动电机通过连接轴连接有第三主动齿轮；

所述连接杆组件包括第一连接杆组件、第二连接杆组件和第三连接杆组件；

所述轴套包括套设于所述主轴上的第一轴套，所述第一轴套靠近所述底座的一端突设有沿着所述主轴的径向方向延伸设置的第一轴肩，所述第一轴肩和所述底座之间设置与所述第一主动齿轮相啮合的第一从动齿轮，所述第一轴套远离所述底座的一端的外侧壁连接有所述第一连接杆组件；

所述轴套还包括套设于所述第一轴套上的第二轴套，所述第二轴套位于所述第一轴肩远离所述底座的一侧，所述第二轴套靠近所述底座的一端突设有沿着所述主轴的径向方向延伸设置的第二轴肩，所述第二轴肩和所述第一轴肩之间设置有与所述第二主动齿轮相啮合的第二从动齿轮，所述第二轴套远离所述底座的一端的外侧壁连接有所述第二连接杆组件；

所述轴套还包括套设于所述第二轴套外的第三轴套，所述第三轴套为设置于所述第二轴肩远离所述底座的一侧的轴承，所述轴承靠近所述第二轴肩的一端设置有与所述第三主动齿轮相啮合的第三从动齿轮，所述轴承远离所述底座的一端的外侧壁套设有连接套，所述连接套的外侧壁上连接有所述第三连接杆组件。