[实用新型]应用于晶圆盒自动封装设备中的入袋模组

权利要求书

1.一种应用于晶圆盒自动封装设备(100)中的入袋模组(5)，其特征在于：包括支撑机构(52)以及第一驱动机构(542)，所述支撑机构(52)能够在第三方向上被第一驱动机构(542)驱动而将晶圆盒(200)送入包装袋内。

2.根据权利要求1所述的应用于晶圆盒自动封装设备(100)中的入袋模组(5)，其特征在于：包括输送线(552)和第二驱动机构(564)，所述输送线(552)能够在第三方向上传输晶圆盒(200)，所述支撑机构(52)能够在与第三方向不同的第二方向上被第二驱动机构(564)驱动且具有位于输送线(552)下方的初始位置和位于输送线(552)上方的顶起位置，所述支撑机构(52)在所述顶起位置被第一驱动机构(542)驱动。

3.根据权利要求2所述的应用于晶圆盒自动封装设备(100)中的入袋模组(5)，其特征在于：包括顶升板(563)，所述第二驱动机构(564)通过顶升板(563)驱动所述支撑机构(52)在第二方向上的运动。

4.根据权利要求3所述的应用于晶圆盒自动封装设备(100)中的入袋模组(5)，其特征在于：包括上下移动导轨副(561)和滑动连接于上下移动导轨副(561)上的上下移动板(562)，所述顶升板(563)通过上下移动板(562)在上下移动导轨副(561)上限位滑动。

5.根据权利要求1或2所述的应用于晶圆盒自动封装设备(100)中的入袋模组(5)，其特征在于：包括第一丝杠副(544)，所述第一驱动机构(542)通过第一丝杠副(544)驱动所述支撑机构(52)在第三方向上的运动。

6.根据权利要求5所述的应用于晶圆盒自动封装设备(100)中的入袋模组(5)，其特征在于：包括纵向移动导轨副(541)，所述支撑机构(52)滑动连接在纵向移动导轨副(541)上。

7.根据权利要求1所述的应用于晶圆盒自动封装设备(100)中的入袋模组(5)，其特征在于：还包括位于包装平台(7)上的一对夹板机构(77)，所述一对夹板机构(77)中的至少一个能够运动而彼此靠近。

8.根据权利要求1所述的应用于晶圆盒自动封装设备(100)中的入袋模组(5)，其特征在于：包括夹持机构(553)，所述夹持机构(553)位于支撑机构(52)的外侧。

9.根据权利要求1所述的应用于晶圆盒自动封装设备(100)中的入袋模组(5)，其特征在于：包括第一挡板(58)，所述第一挡板(58)能够抵挡住支撑机构(52)的末端。

10.根据权利要求1所述的应用于晶圆盒自动封装设备(100)中的入袋模组(5)，其特征在于：包括一对压板(5341、5342)，所述一对压板(5341、5342)能够于第三方向上做同向运动且能够于第二方向上做背离运动。