[实用新型]一种显影蚀刻去膜设备

权利要求书

1.一种显影蚀刻去膜设备，包括设备箱体(1)，其特征在于：所述设备箱体(1)内设有滑槽(21)，所述滑槽(21)内滑动连接有滑动杆(22)，所述滑动杆(22)的上端穿过设备箱体(1)与顶板(23)连接，所述顶板(23)的下端设有支杆(24)，所述支杆(24)的下端设有U型框(25)，所述U型框(25)内螺纹连接有螺纹杆(26)，所述螺纹杆(26)的内侧设有吸盘(27)，所述设备箱体(1)的下端设有固定块(31)，所述固定块(31)的下端设有底块(32)，所述底块(32)内设有清水腔(33)，所述清水腔(33)的上端设有清水管(34)，所述清水管(34)的上端设于设备箱体(1)内，所述底块(32)内设有脱膜液腔(35)，所述脱膜液腔(35)的上端设有脱膜液管(36)，所述脱膜液管(36)的上端设于设备箱体(1)内。

2.根据权利要求1所述的一种显影蚀刻去膜设备，其特征在于：所述设备箱体(1)的外侧设有第一水泵(41)。

3.根据权利要求2所述的一种显影蚀刻去膜设备，其特征在于：所述第一水泵(41)的下端设有进水管(42)，所述进水管(42)的下端穿入到清水腔(33)内。

4.根据权利要求2所述的一种显影蚀刻去膜设备，其特征在于：所述第一水泵(41)的另一端通过第一连接管连接有第一集水箱(43)，所述第一集水箱(43)的外侧设有第一喷头(44)。

5.根据权利要求1所述的一种显影蚀刻去膜设备，其特征在于：所述设备箱体(1)的外侧设有第二水泵(51)。

6.根据权利要求5所述的一种显影蚀刻去膜设备，其特征在于：所述第二水泵(51)的下端设有进脱膜液管(52)，所述进脱膜液管(52)的下端穿入到脱膜液腔(35)内。

7.根据权利要求5所述的一种显影蚀刻去膜设备，其特征在于：所述第二水泵(51)的另一端通过第二连接管连接有第二集水箱(53)，所述第二集水箱(53)的外侧设有第二喷头(54)。