[实用新型]一种用于物理气象沉积的遮覆板结构有效
申请号: | 202021152302.8 | 申请日: | 2020-06-19 |
公开(公告)号: | CN212894935U | 公开(公告)日: | 2021-04-06 |
发明(设计)人: | 刘得志 | 申请(专利权)人: | 东莞市世平光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04 |
代理公司: | 东莞市明诺知识产权代理事务所(普通合伙) 44596 | 代理人: | 黎淑茵 |
地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 物理 气象 沉积 板结 | ||
本实用新型涉及物理气象沉积技术领域,具体为一种用于物理气象沉积的遮覆板结构,包括支撑板,支撑板的表面且位于左右两侧中部的位置开设有对称分布的T形滑槽,T形滑槽内滑动连接有T形块,T形块的顶部活动连接有调节板,支撑板表面的中部设有样品台,样品台的表面开设有置物凹槽,样品台表面两端的上方设有对称分布的遮覆板,遮覆板的底部且位于边缘中部的位置设有对称分布的凸板,调节板的顶部与两个凸板铰接。该用于物理气象沉积的遮覆板结构,通过设有的T形块可以带动遮覆板进行水平方向的移动,通过第二紧固螺栓可以将调整好位置后的T形块固定,从而将遮覆板的位置固定,避免在基体表面沉积时发生移位。
技术领域
本实用新型涉及物理气象沉积技术领域,具体为一种用于物理气象沉积的遮覆板结构。
背景技术
物理气相沉积技术表示在真空条件下,采用物理方法,将固体或液体材料源的表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子,并通过低压气体过程,在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术,在基体表面沉积时,为了避免基体其他面被沉积,需要使用遮覆板进行遮挡,现有的遮覆板大多直接放置在基体的表面,不能固定位置,如果发生移位就会导致其他面被沉积,影响基体表面的沉积效果,鉴于此,我们提出一种用于物理气象沉积的遮覆板结构。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种用于物理气象沉积的遮覆板结构,以解决上述背景技术中提出现有的遮覆板大多直接放置在基体的表面,不能固定位置,如果发生移位就会导致其他面被沉积,影响基体表面沉积效果的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种用于物理气象沉积的遮覆板结构,包括支撑板,所述支撑板的表面且位于左右两侧中部的位置开设有对称分布的T形滑槽,所述T形滑槽内滑动连接有T形块,所述T形块底部的中部竖直开设有螺纹槽,所述螺纹槽内活动连接有第二紧固螺栓,所述第二紧固螺栓的外壁且靠近顶端的位置设有环形挤压块,所述T形块内开设有矩形槽,所述矩形槽内壁的底部粘接有两个对称分布的弹簧,所述T形块的顶部活动连接有调节板,所述调节板底部的两端设有对称分布的限位凸块,所述调节板顶部的一端设有转动块,所述支撑板表面的中部设有样品台,所述样品台的表面开设有置物凹槽,所述样品台表面两端的上方设有对称分布的遮覆板,所述遮覆板的底部且位于边缘中部的位置设有对称分布的凸板,其中一个所述凸板的外侧活动连接有第一紧固螺栓,所述调节板的顶部与两个所述凸板铰接。
优选的,所述第二紧固螺栓的外螺纹与所述螺纹槽的内螺纹相适配,所述第二紧固螺栓的底端穿过支撑板的底部且与所述T形块的底部螺纹连接,且所述环形挤压块的侧面与支撑板的底部相贴合。
优选的,所述调节板的中下部位于所述矩形槽内,且两个所述限位凸块的端部分别与所述矩形槽内壁的两侧相贴合。
优选的,所述第一紧固螺栓的底端穿过所述凸板的外侧且与所述调节板顶部的端部螺纹连接。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
该用于物理气象沉积的遮覆板结构,通过设有的T形块可以带动遮覆板进行水平方向的移动,通过第二紧固螺栓可以将调整好位置后的T形块固定,从而将遮覆板的位置固定,避免在基体表面沉积时发生移位,确保基体表面沉积顺利进行,通过调节板和弹簧可以使遮覆板将基体压紧,进一步固定遮覆板和基体的位置,通过遮覆板与调节板铰接,可以调整遮覆板的俯仰角度,适应具有坡面的基体,提高该遮覆板的适用性,通过第一紧固螺栓将调整好角度的遮覆板固定位置。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图;
图2为本实用新型中的支撑板和样品台的装配结构示意图;
图3为本实用新型的部分结构示意图。
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