[实用新型]一种遮覆板反变形治具

说明书

本实用新型公开了一种遮覆板反变形治具，包括底板、顶板、定位夹持组件、反变形支撑组件；底板、顶板两者之间相对沿Z轴竖直滑动，并且所述底板和所述顶板上均阵列贯穿有若干螺纹导套；定位夹持组件包括X轴滑轨副、Y轴滑轨副、压紧钳；X轴滑轨副设置于底板上；Y轴滑轨副设置于X轴滑轨副上；压紧钳设置于Y轴滑轨副上；压紧钳通过X轴滑轨副、Y轴滑轨副进行联合移动至遮覆板的周侧，并对遮覆板进行压紧；反变形支撑组件包括调节修复螺杆、接触软垫；调节修复螺杆设有若干个，其通过螺纹导套装配于底板、顶板上，并对应遮覆板的变形点进行位置分布；接触软垫设置于调节修复螺杆的末端；本实用新型具有使用便捷，变形修复效果好的优点。

技术领域

本实用新型设涉及面板变形修复技术领域，特别涉及一种遮覆板反变形治具。

背景技术

在半导体制程中，必须定期或不定期地对半导体制程设备的零件进行清洗及再生，以维持半导体制程设备的效能，并可延长设备的使用寿命。清洗的工艺包括有高压水刀冲洗，采用高压水刀对半导体制程设备中的遮覆板上的金属镀层进行冲洗，以防金属镀膜在后续的生产过程中破裂或剥落，产生的微尘粒子散布至设备内影响良率。在高压清洗的过程中，很容易导致遮覆板变形，在后续的工艺中需要对遮覆板进行反变形修复，而现有的对于遮覆板的反变形方式大多采用平口钳进行固定，再通过人力使用工具对变形的位置进行反向敲打，最后使用测量仪进行测量，但这种方式工作效率慢，并且质量不稳定。因此，需要研发一种针对遮覆板的反变形治具，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于提供一种遮覆板反变形治具，以解决上述问题。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：

一种遮覆板反变形治具，包括底板、顶板、定位夹持组件、反变形支撑组件；所述底板、所述顶板两者之间相对沿Z轴竖直滑动，并且所述底板和所述顶板上均阵列贯穿有若干螺纹导套；所述定位夹持组件包括X轴滑轨副、 Y轴滑轨副、压紧钳；所述X轴滑轨副设置于所述底板上；所述Y轴滑轨副设置于所述X轴滑轨副上；所述压紧钳设置于所述Y轴滑轨副上；所述压紧钳通过所述X轴滑轨副、所述Y轴滑轨副进行联合移动至遮覆板的周侧，并对遮覆板进行压紧；所述反变形支撑组件包括调节修复螺杆、接触软垫；所述调节修复螺杆设有若干个，其通过所述螺纹导套装配于所述底板、所述顶板上，并对应遮覆板的变形点进行位置分布；所述接触软垫设置于所述调节修复螺杆的末端。

进一步的，所述底板、所述顶板两者之间通过T型螺杆、装配导套、螺纹孔进行相对竖直滑动；所述装配导套设置于所述底板的四边角上；所述螺纹孔对应所述装配导套设置于所述顶板上；所述T型螺杆沿着所述装配导套进行插入，并与所述螺纹孔进行螺纹连接，通过拧动所述T型螺杆从而调节所述顶板与所述底板之间的距离。

进一步的，所述底板的下部还设有支撑脚。

进一步的，所述压紧钳通过一垫块设置于所述Y轴滑轨副上。

本实用新型的有益效果在于，使用便捷，变形修复效果好，本实用新型通过设有定位夹持组件、反变形支撑组件，定位夹持组件采用两轴滑轨副以及压紧钳对遮覆板进行固定，固定速度快，反变形支撑组件通过若干个调节修复螺杆对遮覆板进行反向挤压并固定，无需像以往采用平口钳进行固定，再通过人力使用工具对变形的位置进行反向敲打，具有使用便捷，变形修复效果好的优点。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的底板的局部结构示意图；

图3为本实用新型的反变形支撑组件的结构示意图。

10、底板；11、顶板；12、螺纹导套；13、T型螺杆；14、装配导套；15、螺纹孔；16、支撑脚；20、定位夹持组件；21、X轴滑轨副；22、Y轴滑轨副；23、压紧钳；24、垫块；30、反变形支撑组件；31、调节修复螺杆；32、接触软垫。

具体实施方式