[实用新型]一种便于晶体定向的晶圆棒固定工装有效
| 申请号： | 202021139423.9 | 申请日： | 2020-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN212859970U | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 王海军;薛佳勇;薛佳伟 | 申请（专利权）人： | 天津众晶半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B28D7/00;B28D7/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300000 天津市北*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 便于 晶体 定向 晶圆棒 固定 工装 | ||
【权利要求书】：
1.一种便于晶体定向的晶圆棒固定工装，其特征在于包括工装底板、提手、定位孔、定位销、辅助挡条、石墨条，所述工装底板一端设有提手，所述工装底板上靠近中线位置设有辅助挡条，所述工装底板两侧均匀设有定位孔，所述定位孔数量为N，N≥4，通过将定位销插在定位孔内实现工装底板与晶体定向仪测试平台的相对固定，所述石墨条放置在工装底板上。
2.根据权利要求1所述的一种便于晶体定向的晶圆棒固定工装，其特征在于，所述工装底板与辅助挡条的连接方式为焊接。
3.根据权利要求1所述的一种便于晶体定向的晶圆棒固定工装，其特征在于，所述石墨条上表面为弧形凹槽结构。
4.根据权利要求1所述的一种便于晶体定向的晶圆棒固定工装，其特征在于，所述辅助挡条为矩形柱状结构。
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