[实用新型]一种铟丝密封结构

权利要求书

1.一种铟丝密封结构，其特征在于：包括铟丝圈（1）、石英玻璃（2）、上法兰（3）和设置在真空设备上的下法兰（4），所述上法兰（3）上开设有可视窗口（5），所述上法兰（3）通过螺栓与下法兰（4）相连接，所述石英玻璃（2）位于上法兰（3）与下法兰（4）之间，所述铟丝圈（1）位于石英玻璃（2）与下法兰（4）之间。

2.根据权利要求1所述的一种铟丝密封结构，其特征在于：所述石英玻璃（2）与上法兰（3）之间安装有弹性垫片（7）。

3.根据权利要求2所述的一种铟丝密封结构，其特征在于：所述上法兰（3）靠近石英玻璃（2）的一端开设有安装槽（6），所述弹性垫片（7）和石英玻璃（2）的一侧均位于安装槽（6）。

4.根据权利要求3所述的一种铟丝密封结构，其特征在于：所述弹性垫片（7）选择聚四氟乙烯垫。

5.根据权利要求1所述的一种铟丝密封结构，其特征在于：所述下法兰（4）朝向石英玻璃（2）的一端开设有密封槽（8），所述铟丝圈（1）安装在密封槽（8）内。

6.根据权利要求1所述的一种铟丝密封结构，其特征在于：所述上法兰（3）靠近下法兰（4）的一侧凸出设置有上凸环（9），所述上凸环（9）靠近下法兰（4）的一端开设有放置槽（10），所述放置槽（10）内安装有金属密封圈（11）。

7.根据权利要求6所述的一种铟丝密封结构，其特征在于：所述下法兰（4）靠近上法兰（3）的一端设置有下凸环（12），所述下凸环（12）朝向上凸环（9）的一端开设有与金属密封圈（11）相配合的配合槽（13）。