[实用新型]一种芯片加工用除尘装置有效

专利信息
申请号: 202021132668.9 申请日: 2020-06-18
公开(公告)号: CN212976132U 公开(公告)日: 2021-04-16
发明(设计)人: 陈博语 申请(专利权)人: 昆山生隆科技发展有限公司
主分类号: B08B5/02 分类号: B08B5/02;B08B15/04;B08B13/00;H01L21/67
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215300 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 芯片 工用 除尘 装置
【权利要求书】:

1.一种芯片加工用除尘装置,包括底板(1)和齿轮板(2),其特征在于:所述底板(1)的顶部固定连接有箱体(3),并且箱体(3)的顶部固定连接有收集箱(4),所述齿轮板(2)的底部滑动连接有弧形块(5),并且弧形块(5)的底部固定连接有弧形板(6),所述弧形板(6)的底部与箱体(3)内壁的底部固定连接,并且箱体(3)内壁的顶部与底部均固定连接有风机(7),所述齿轮板(2)的顶部开设有通槽(8),并且通槽(8)的内壁固定连接有回形板(9),所述通槽(8)内壁的两侧之间活动连接有外壳(10),并且外壳(10)的两侧均活动连接有活动板(11),所述活动板(11)的一侧贯穿齿轮板(2)并延伸至齿轮板(2)的内部,所述底板(1)顶部的一侧固定连接有电机(12),并且电机(12)的输出端固定连接有与齿轮板(2)相啮合的齿轮(13)。

2.根据权利要求1所述的一种芯片加工用除尘装置,其特征在于:所述齿轮板(2)的内部且位于通槽(8)内壁的两侧均开设有与活动板(11)相适配的活动槽(14),所述外壳(10)的数量有两个。

3.根据权利要求1所述的一种芯片加工用除尘装置,其特征在于:所述齿轮板(2)的底部开设有与弧形块(5)相适配的环形槽(15)。

4.根据权利要求1所述的一种芯片加工用除尘装置,其特征在于:两个所述活动板(11)相对的一侧均固定连接有挡块(16),并且两个挡块(16)相对的一侧之间固定连接有弹簧(17),所述挡块(16)的顶部固定连接有竖杆(18),所述竖杆(18)的顶端贯穿外壳(10)并延伸至外壳(10)的顶部,所述外壳(10)的顶部开设有与竖杆(18)相适配的滑槽(19)。

5.根据权利要求1所述的一种芯片加工用除尘装置,其特征在于:所述箱体(3)内壁的两侧均固定连接有抽风机(20),所述抽风机(20)的进风口连通有进风管(21),并且抽风机(20)的出风口连通有出风管(22)。

6.根据权利要求5所述的一种芯片加工用除尘装置,其特征在于:所述出风管(22)的一端贯穿箱体(3)和收集箱(4)并延伸至收集箱(4)的内部。

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