[实用新型]一种晶圆抛光检测工装

权利要求书

1.一种晶圆抛光检测工装，其特征在于，包括工作台、固定支撑架、旋转电机、旋转平台、夹紧销和检测组件；所述的固定支撑架位于所述的工作台上，与所述的工作台固定连接；所述的旋转电机位于所述的工作台的下方，主轴向上延伸；所述的旋转平台位于所述的固定支撑架上，与所述的旋转电机相连接，跟随所述的旋转电机旋转；所述的夹紧销位于所述的旋转平台上，与所述的旋转平台固定连接同时对应待检测的晶圆；所述的检测组件位于所述的旋转平台的一侧，与所述的工作台固定连接，对应所述的旋转平台；

所述的检测组件包括检测支架、红外感应器和报警器；所述的检测支架位于所述的工作台上，同时位于所述的旋转平台的一侧，对应所述的旋转平台；所述的红外感应器位于所述的检测支架上，与所述的检测支架固定连接，对应待检测的晶圆的表面；所述的报警器位于所述的工作台的一侧，与所述的红外感应器电连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆抛光检测工装，其特征在于，所述的旋转电机的外轴上设置有连接杆，所述的连接杆贯穿所述的工作台和固定支撑架，与所述的旋转平台相连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆抛光检测工装，其特征在于，所述的夹紧销设置有多个，分布在所述的旋转平台的圆周上。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆抛光检测工装，其特征在于，所述的红外感应器设定有平面范围，对应晶圆的表面平面度和跳动范围。