[实用新型]图案生成装置

权利要求书

1.一种图案生成装置，其特征在于依次包括光源(4)、照明透镜组(5)、第一成像透镜组(1)、第二成像透镜组(2)、图案板(6)、第三成像透镜组(3)及图像传感器(7)，前述光源(4)发出的光线依次经过照明透镜组(5)、第一成像透镜组(1)及第二成像透镜组(2)后再图案板(6)上形成均匀的照明光斑，最后经第三成像透镜组(3)成像在图案传感器上，前述的第一成像透镜组(1)和第三成像透镜组(3)的焦距、光圈及视场角相同，第二成像透镜组(2)入射光线的角度与第二成像透镜组(2)出射光线的角度相同，前述图案板(6)位于第三成像透镜组(3)的物平面上，前述图像传感器(7)位于第三成像透镜组(3)的像平面上。

2.根据权利要求1所述的图案生成装置，其特征在于所述的图案板(6)所在的空间角为α、β、γ，其中α表示图案板(6)与YZ平面的夹角，β表示图案板(6)与XZ平面的夹角，γ表示图案板(6)与XY平面的夹角，且满足0°α≦90°，0°β≦90°，0°γ≦90°。

3.根据权利要求1所述的图案生成装置，其特征在于所述的照明透镜组(5)、第一成像透镜组(1)、第二成像透镜组(2)或第三成像透镜组(3)的光学镜片的数目≧1个。

4.根据权利要求3所述的图案生成装置，其特征在于所述光学镜片的面型为球面、非球面、自由曲面或微透镜阵列面。

5.根据权利要求1所述的图案生成装置，其特征在于所述第三成像透镜组的面型为实际加工的面型。

6.根据权利要求3所述的图案生成装置，其特征在于所述的照明透镜组(5)依次包括第一照明透镜(51)和第二照明透镜(52)，前述第一照明透镜(51)的光线入射面为竖直镜面，光线出射面为凸透镜，前述第二照明透镜(52)的光线入射面和光线出射面均为凸透镜。

7.根据权利要求3所述的图案生成装置，其特征在于所述的第三成像透镜组(3)依次包括第一成像透镜(31)、第二成像透镜(32)和第三成像透镜(33)，前述第一成像透镜(31)的光线入射面和光线出射面均为凸透镜，前述第二成像透镜(32)的光线入射面和光线出射面均为凹透镜，前述第三成像透镜(33)的光线入射面和光线出射面均为凸透镜。