[实用新型]等离子发生器

权利要求书

1.一种等离子发生器，其特征在于，包括同轴设置的阴极组件(1)、阳极(50)和进气环(60)，所述阴极组件(1)包括：

阴极(30)；

中空的壳体(10)，所述壳体(10)的第一端与所述阳极(50)之间形成放电室(70)，所述进气环(60)用于向所述放电室(70)输送工质气体，所述阳极(50)上设有与所述放电室(70)连通的弧焰出口(51)；

进给杆(20)，所述进给杆(20)的第一端由所述壳体(10)的第二端插入到所述壳体(10)的内部，所述进给杆(20)的第一端设有用于安装所述阴极(30)的安装部，所述壳体(10)的第一端设有可供所述阴极(30)插入的通孔，所述进给杆(20)能够沿着所述壳体(10)的长度方向移动。

2.根据权利要求1所述的等离子发生器，其特征在于，所述阳极(50)朝向所述壳体(10)的一侧具有扩展部(52)，所述壳体(10)的第一端伸入所述扩展部(52)并与所述扩展部(52)之间形成所述放电室(70)，所述壳体(10)的外周与所述扩展部(52)之间形成间隙，所述进气环(60)用于向所述间隙输送所述工质气体。

3.根据权利要求2所述的等离子发生器，其特征在于，所述扩展部(52)沿着朝向所述壳体(10)的方向内径逐渐增加，所述弧焰出口(51)与所述扩展部(52)的远离所述壳体(10)的一端连通，且所述弧焰出口(51)与所述阳极(50)同轴设置。

4.根据权利要求1所述的等离子发生器，其特征在于，还包括驱动设备(40)，所述驱动设备与所述进给杆(20)的第二端连接，所述驱动设备(40)用于带动所述进给杆(20)沿着所述壳体(10)的长度方向移动。

5.根据权利要求4所述的等离子发生器，其特征在于，所述驱动设备(40)包括步进电机，所述步进电机的输出轴与所述进给杆(20)的第二端连接，所述进给杆(20)与所述壳体(10)的第二端螺纹配合，所述步进电机相对于所述等离子发生器的基座沿着所述壳体(10)的长度方向移动。

6.根据权利要求4所述的等离子发生器，其特征在于，所述驱动设备(40)包括步进电机，所述步进电机的输出轴与所述进给杆(20)的第二端连接，所述进给杆(20)与所述壳体(10)的第二端螺纹配合，所述步进电机的输出轴的端部设有第一连接部，所述进给杆(20)的第二端设有第二连接部，所述第一连接部和所述第二连接部沿着所述壳体(10)的周向方向限位配合且沿着所述壳体(10)的长度方向滑动配合。

7.根据权利要求4所述的等离子发生器，其特征在于，所述驱动设备(40)包括电动推杆，所述电动推杆的输出轴与所述进给杆(20)的第二端连接，所述进给杆(20)与所述壳体(10)的第二端滑动配合，所述电动推杆固定设置在所述等离子发生器的基座上。

8.根据权利要求1至7任一项所述的等离子发生器，其特征在于，所述壳体(10)的内部呈阶梯孔状，所述阶梯孔的大孔部靠近所述壳体(10)的第一端，所述阶梯孔的小孔部靠近所述壳体(10)的第二端，所述阶梯孔的台阶部朝向所述大孔部的一侧延伸设有分水筒(14)，所述分水筒(14)与所述壳体(10)的第一端之间形成间隙，所述分水筒(14)与所述进给杆(20)之间形成进水通道，所述壳体(10)上设有与所述进水通道连通的进水管(15)，所述分水筒(14)与所述大孔部之间形成出水通道，所述壳体(10)上设有与所述出水通道连通的出水管(16)。

9.根据权利要求8所述的等离子发生器，其特征在于，所述壳体(10)的内壁与所述进给杆(20)之间设有第一密封圈(17)，所述第一密封圈(17)设置在所述进水管(15)与所述进水通道的接口处朝向所述壳体(10)的第二端的一侧。

10.根据权利要求8所述的等离子发生器，其特征在于，所述壳体(10)的内壁设有可供所述阴极(30)插入的第二密封圈(18)。