[实用新型]喷淋式进气CVD动态混气装置

权利要求书

1.一种喷淋式进气CVD动态混气装置，包括法兰（1）、混合罐（2）、定子（3）、进气接头（4）、出气接头（5）、叶片轴（6）、叶片（7）、主轴（8）、强磁线圈（9）与密封用磁性粉末（10）；

其特征是：在法兰（1）的右侧壁上呈密封固定有混合罐（2），在法兰（1）的左侧壁上呈密封固定有定子（3），在法兰（1）上或者混合罐（2）上固定有两个进气接头（4），在混合罐（2）上固定有出气接头（5），在混合罐（2）内转动安装有叶片轴（6），在叶片轴（6）上固定有叶片（7）；在定子（3）内转动安装有主轴（8），主轴（8）与叶片轴（6）呈一体式同轴连接，在主轴（8）内固定有强磁线圈（9），在主轴（8）的外壁与定子（3）的内壁之间设有密封用磁性粉末（10）。

2.根据权利要求1所述的喷淋式进气CVD动态混气装置，其特征是：所述叶片（7）包括正向吹风叶片（71）与反向吹风叶片（72），在叶片轴（6）上固定有呈间隔设置的正向吹风叶片（71）与反向吹风叶片（72），相邻两个正向吹风叶片（71）之间设有一个反向吹风叶片（72），相邻两个反向吹风叶片（72）之间设有一个正向吹风叶片（71）。

3.根据权利要求1所述的喷淋式进气CVD动态混气装置，其特征是：所述混合罐（2）的出气端为圆锥形罐体，在圆锥形罐体的内壁面上设有气体导流旋转螺纹（11），在圆锥形罐体的锥顶位置固定有所述的出气接头（5）。

4.根据权利要求1所述的喷淋式进气CVD动态混气装置，其特征是：所述两个进气接头（4）分别固定在法兰（1）的直径两端，进气接头（4）的出气方向与叶片轴（6）的轴线方向一致，在靠近法兰（1）的混合罐（2）内壁上设有与进气接头（4）的出气端位置配合的挡板（12）。

5.根据权利要求1所述的喷淋式进气CVD动态混气装置，其特征是：所述进气接头（4）固定在靠近法兰（1）的混合罐（2）上，两个进气接头（4）的出气方向为混合罐（2）的直径方向且呈对向设置。

6.根据权利要求1所述的喷淋式进气CVD动态混气装置，其特征是：所述叶片轴（6）与混合罐（2）呈同轴设置。