[实用新型]一种控制光学高精度圆形分划件中心位置的夹具

说明书

本实用新型属于精密光学刻蚀技术领域，尤其涉及一种控制光学高精度圆形分划件中心位置的夹具，包括夹具本体，所述夹具本体的顶部的中间部位设有凸块，且夹具本体顶部沿凸块周围均布有通气孔，所述夹具本体下端设有定位孔，所述定位孔与光学圆形分划件和母片相匹配，所述夹具本体的上方卡接有定位荷重块，所述定位荷重块的底部设有与夹具本体上的凸块相匹配的卡槽，所述夹具本体所用材料为聚四氟乙烯。本实用新型结构简单，操作方便，能够快速、精确地将光学圆形分划件的中心位置与母片图案的中心位置重合，且较少对光学圆形分划件及母片的挤压，保持光学圆形分划件及母片的超净光洁度。

技术领域

本实用新型属于精密光学刻蚀技术领域，尤其是一种控制光学高精度圆形分划件中心位置的夹具。

背景技术

光学高精度圆形分划件具有中心位置要求严格、精度要求高和光洁度要求高等特点，随着光学元件在国内各个行业的广泛应用，光学圆形分划件的图案变得日趋复杂，对光学圆形分划件中心位置控制要求也越来越严格，即要求光学圆形分划件刻蚀过程中，要求光学圆形分划件的中心位置与母片图案的中心位置重合，其误差要求在0.003mm-0.005mm之间，现有的光学圆形分划件的中心位置与母片图案中心位置的重合是依靠操作工人的经验进行估算，稍有误差就需返工处理，返工处理就破坏了光学圆形分划件的超净光洁度的要求，使光学圆形分划件的生产不合格，生产效率低，光学圆形分划件的合格率低。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种控制光学高精度圆形分划件中心位置的夹具，结构简单，操作方便，能够快速、精确地将光学圆形分划件的中心位置与母片图案的中心位置重合，且较少对光学圆形分划件及母片的挤压，保持光学圆形分划件及母片的超净光洁度。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

一种控制光学高精度圆形分划件中心位置的夹具，包括夹具本体，所述夹具本体的顶部的中间部位设有凸块，且夹具本体顶部沿凸块周围均布有通气孔，所述夹具本体下端设有定位孔，所述定位孔与光学圆形分划件和母片相匹配，所述夹具本体的上方卡接有定位荷重块，所述定位荷重块的底部设有与夹具本体上的凸块相匹配的卡槽，所述夹具本体所用材料为聚四氟乙烯。

优选的，所述定位荷重块顶部设有提手，其主要目的是，方便定位荷重块的取放。

本实用新型还包括能够使该控制光学高精度圆形分划件中心位置的夹具正常使用的其它组件，均为本领域的常规技术手段。另外，本实用新型中未加限定的装置或组件均采用本领域中的常规技术手段。

本实用新型使用时，先将光学圆形分划件放入夹具本体的定位孔内，再将母片放入定位孔内，定位孔内的空气从通气孔中排出，保证母片与光学圆形分划件完全贴合，将固定有光学圆形分划件和母片的夹具本体放在曝光灯箱上，然后将定位荷重块放在夹具本体上，保证在刻蚀过程中，光学圆形分划件、母片和曝光灯箱上表面三者间完全贴合。

本实用新型的有益效果是，本装置结构简单，操作方便，将光学圆形分划件与母片一起固定在定位夹圈内，快速、精确地将光学圆形分划件的中心位置与母片的中心位置重合，减少了对光学圆形分划件和母片的挤压，保证了光学圆形分划件及母片的超净光洁度。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的整体结构示意图；

具体实施方式

下面结合本实用新型实施例中的附图以及具体实施例对本实用新型进行清楚地描述，在此处的描述仅仅用来解释本实用新型，但并不作为对本实用新型的限定。基于本实用新型中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

实施例