[实用新型]一种利用陶瓷梳替换陶瓷杆增加产量的石墨舟有效
申请号: | 202021077833.5 | 申请日: | 2020-06-11 |
公开(公告)号: | CN212182288U | 公开(公告)日: | 2020-12-18 |
发明(设计)人: | 余波;郑方渊;张华;冯晓倩 | 申请(专利权)人: | 上海弘竣新能源材料有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;C23C16/458 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 201708 上海市青浦区华*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 利用 陶瓷 替换 增加 产量 石墨 | ||
1.一种利用陶瓷梳替换陶瓷杆增加产量的石墨舟,包括石墨舟片,其特征在于:所述石墨舟片设有多片,并且平行放置固定,所述石墨舟片包括石墨舟片体和两端的凸耳,所述石墨舟片体上设有硅片位,所述硅片位设有多个,并沿石墨舟片体等距分布,所述相邻的硅片位之间上端设有陶瓷梳卡槽,下端开有陶瓷杆穿插孔,所述陶瓷杆穿插孔用于安装陶瓷杆,所述陶瓷梳卡槽卡接陶瓷梳,所述陶瓷梳卡槽和陶瓷杆穿插孔之间分布有卡点孔,所述卡点孔位于硅片位两侧,内部固定有卡点,所述卡点为任意形状的凸起结构,所述凸耳上设有穿孔,所述穿孔用于安装陶瓷杆Ⅰ,所述多片石墨舟片中部通过陶瓷梳和陶瓷杆连接,两端凸耳通过陶瓷杆Ⅰ进行连接,并通过锁紧螺母锁紧陶瓷杆和陶瓷杆Ⅰ两端。
2.根据权利要求1所述的一种利用陶瓷梳替换陶瓷杆增加产量的石墨舟,其特征在于:所述陶瓷梳为长条状扁平结构,所述陶瓷梳的一边开有梳齿,所述相邻梳齿的齿槽与陶瓷梳卡槽长度和结构对应,所述陶瓷梳厚度为陶瓷杆、陶瓷杆Ⅰ外径的三分之一。
3.根据权利要求1所述的一种利用陶瓷梳替换陶瓷杆增加产量的石墨舟,其特征在于:所述卡点可以为圆柱形凸起结构,所述卡点的长度方向与石墨舟片体表面相垂直。
4.根据权利要求1所述的一种利用陶瓷梳替换陶瓷杆增加产量的石墨舟,其特征在于:所述每个凸耳上设有两个并列的穿孔。
5.根据权利要求1所述的一种利用陶瓷梳替换陶瓷杆增加产量的石墨舟,其特征在于:所述石墨舟片体两端设有陶瓷杆穿插孔Ⅰ,所述陶瓷杆穿插孔Ⅰ设有两个,位于石墨舟片体上下两侧,所述陶瓷杆穿插孔Ⅰ内部安装有陶瓷杆Ⅱ,所述陶瓷杆Ⅱ连接多个石墨舟片体,并通过锁紧螺母锁紧。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海弘竣新能源材料有限公司,未经上海弘竣新能源材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202021077833.5/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种多点位移监测装置
- 下一篇:一种电鼓主电机进线柜保护压板
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造