[实用新型]一种利用陶瓷梳替换陶瓷杆增加产量的石墨舟有效

专利信息
申请号: 202021077833.5 申请日: 2020-06-11
公开(公告)号: CN212182288U 公开(公告)日: 2020-12-18
发明(设计)人: 余波;郑方渊;张华;冯晓倩 申请(专利权)人: 上海弘竣新能源材料有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673;C23C16/458
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201708 上海市青浦区华*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 利用 陶瓷 替换 增加 产量 石墨
【权利要求书】:

1.一种利用陶瓷梳替换陶瓷杆增加产量的石墨舟,包括石墨舟片,其特征在于:所述石墨舟片设有多片,并且平行放置固定,所述石墨舟片包括石墨舟片体和两端的凸耳,所述石墨舟片体上设有硅片位,所述硅片位设有多个,并沿石墨舟片体等距分布,所述相邻的硅片位之间上端设有陶瓷梳卡槽,下端开有陶瓷杆穿插孔,所述陶瓷杆穿插孔用于安装陶瓷杆,所述陶瓷梳卡槽卡接陶瓷梳,所述陶瓷梳卡槽和陶瓷杆穿插孔之间分布有卡点孔,所述卡点孔位于硅片位两侧,内部固定有卡点,所述卡点为任意形状的凸起结构,所述凸耳上设有穿孔,所述穿孔用于安装陶瓷杆Ⅰ,所述多片石墨舟片中部通过陶瓷梳和陶瓷杆连接,两端凸耳通过陶瓷杆Ⅰ进行连接,并通过锁紧螺母锁紧陶瓷杆和陶瓷杆Ⅰ两端。

2.根据权利要求1所述的一种利用陶瓷梳替换陶瓷杆增加产量的石墨舟,其特征在于:所述陶瓷梳为长条状扁平结构,所述陶瓷梳的一边开有梳齿,所述相邻梳齿的齿槽与陶瓷梳卡槽长度和结构对应,所述陶瓷梳厚度为陶瓷杆、陶瓷杆Ⅰ外径的三分之一。

3.根据权利要求1所述的一种利用陶瓷梳替换陶瓷杆增加产量的石墨舟,其特征在于:所述卡点可以为圆柱形凸起结构,所述卡点的长度方向与石墨舟片体表面相垂直。

4.根据权利要求1所述的一种利用陶瓷梳替换陶瓷杆增加产量的石墨舟,其特征在于:所述每个凸耳上设有两个并列的穿孔。

5.根据权利要求1所述的一种利用陶瓷梳替换陶瓷杆增加产量的石墨舟,其特征在于:所述石墨舟片体两端设有陶瓷杆穿插孔Ⅰ,所述陶瓷杆穿插孔Ⅰ设有两个,位于石墨舟片体上下两侧,所述陶瓷杆穿插孔Ⅰ内部安装有陶瓷杆Ⅱ,所述陶瓷杆Ⅱ连接多个石墨舟片体,并通过锁紧螺母锁紧。

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