[实用新型]一种MEMS压力传感器充油芯体

权利要求书

1.一种MEMS压力传感器充油芯体，其特征在于：包括上盖(10)、底座(20)和敏感组件(40)；

所述上盖(10)的下端与底座(20)密封连接，所述底座(20)和上盖(10)构成密封腔体(16)，所述密封腔体(16)内填充有检测介质(17)；

所述底座(20)上且位于密封腔体(16)内设有敏感组件(40)；所述敏感组件(40)包括位于同一平面的硅弹性膜片(41)和信号标定模块(42)；

所述信号标定模块(42)位于硅弹性膜片(41)的四周；

所述硅弹性膜片(41)上设有半导体电阻(43)。

2.根据权利要求1所述的一种MEMS压力传感器充油芯体，其特征在于：所述底座(20)的上表面(202)设有贴片胶(302)和定位标识(206)，所述贴片胶(302)用于粘接敏感组件(40)，所述定位标识(206)分布在贴片胶(302)的外围。

3.根据权利要求2所述的一种MEMS压力传感器充油芯体，其特征在于：所述贴片胶(302)和敏感组件(40)之间还设有背压片(44)。

4.根据权利要求2所述的一种MEMS压力传感器充油芯体，其特征在于：所述贴片胶(302)的中心设有圆孔，所述底座(20)的下表面设有与圆孔连通的通孔(510)。

5.根据权利要求1所述的一种MEMS压力传感器充油芯体，其特征在于：所述底座(20)上还设有管脚(201)，所述管脚(201)上设有与敏感组件(40)电气连接的引线(301)，所述管脚(201)和底座(20)的连接处设有烧结玻璃(205)。

6.根据权利要求1所述的一种MEMS压力传感器充油芯体，其特征在于：所述底座(20)上还设有填料孔(204)，所述底座(20)的下表面且位于填料孔(204)内连接有钢珠(15)。

7.根据权利要求1所述的一种MEMS压力传感器充油芯体，其特征在于：所述底座(20)与上盖(10)的下端密封连接的接触面上设有截面为锥形的第一焊接圈(203)。

8.根据权利要求1所述的一种MEMS压力传感器充油芯体，其特征在于：所述上盖(10)包括圆环(11)、压力膜片(12)和外壳(13)，所述外壳(13)上设有第二焊接圈(14)，所述外壳(13)通过第二焊接圈(14)和圆环(11)连接，所述压力膜片(12)位于外壳(13)和圆环(11)之间，所述圆环(11)、压力膜片(12)和外壳(13)均为同一型号的金属。

9.根据权利要求8所述的一种MEMS压力传感器充油芯体，其特征在于：所述外壳(13)的上表面(202)设有过压阻挡槽(131)，所述外壳(13)的下表面设有介质槽(132)；所述介质槽(132)和过压阻挡槽(131)相连通。