[实用新型]一种原位成膜的同步辐射掠入射X射线观测装置

说明书

本实用新型涉及一种原位成膜的同步辐射掠入射X射线观测装置，其包括手套箱、滴胶器、工作台和匀胶机，其中，滴胶器被设置在手套箱的顶部以将溶液滴加到匀胶机上完成旋涂操作，匀胶机通过工作台被可移动地设置于手套箱的内部，手套箱的相对侧面分别布置有用于允许同步辐射单色X射线光束线照进手套箱的内部的铍视窗和用于采集X射线信号的开普顿薄膜视窗。根据本实用新型的原位成膜的同步辐射掠入射X射线观测装置，可在同步辐射X射线各光束线站进行原位实验表征。

技术领域

本实用新型涉及观测装置，更具体地涉及一种原位成膜的同步辐射掠入射X射线观测装置。

背景技术

对有机、钙钛矿薄膜生长界面、晶体形成过程及其相关机理的系统了解是认识与材料、薄膜形貌、界面有关的薄膜结晶、电荷输运与复合机制的重要基础，同时也是制备高效稳定无迟滞光伏器件的根本驱动力。尽管诸多研究基于钙钛矿生长界面的改善，不仅能进一步提升钙钛矿的结晶质量和薄膜表面形貌、减少钙钛矿薄膜中的体缺陷和界面缺陷、提高器件光电转换效率及减少器件扫描中的迟滞效应，然而钙钛矿层与其生长界面的相互作用机制目前仍不清楚。因此，急需开展钙钛矿薄膜的成膜过程和生长机理的同步辐射X射线衍射和散射技术原位研究。

发明内容

为了解决现有技术中的无法开展钙钛矿薄膜的成膜过程和生长机理的同步辐射X射线衍射和散射技术原位研究的问题，本实用新型提供一种原位成膜的同步辐射掠入射X射线观测装置。

根据本实用新型的原位成膜的同步辐射掠入射X射线观测装置，其包括手套箱、滴胶器、工作台和匀胶机，其中，滴胶器被设置在手套箱的顶部以将溶液滴加到匀胶机上完成旋涂操作，匀胶机通过工作台被可移动地设置于手套箱的内部，手套箱的相对侧面分别布置有用于允许同步辐射单色X射线光束线照进手套箱的内部的铍视窗和用于采集X射线信号的开普顿薄膜视窗。

优选地，开普顿薄膜视窗的开普顿薄膜的厚度0.25mm。

优选地，手套箱内的H₂O和O₂含量均达到1ppm以下。

优选地，滴胶器由气缸和移液枪控制自动滴胶。

优选地，匀胶机位于工作台上。

优选地，手套箱连接光学棚屋。

优选地，手套箱连接二维探测器。

优选地，手套箱的内部安装有监控系统。

优选地，手套箱配备有净化系统。

优选地，手套箱配备有照明系统。

优选地，手套箱具有用于光照实验的光学玻璃窗口。

根据本实用新型的原位成膜的同步辐射掠入射X射线观测装置，可在同步辐射X射线各光束线站进行原位实验表征。特别地，根据本实用新型的原位成膜的同步辐射掠入射X射线观测装置，可以通过同步辐射原位掠入射XRD技术系统地研究钙钛矿等半导体薄膜的生长界面、温湿度以及添加剂等优化前后的成膜机理及对薄膜品质的影响。

附图说明

图1是根据本实用新型的一个优选实施例的原位成膜的同步辐射掠入射X射线观测装置的整体结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图，给出本实用新型的较佳实施例，并予以详细描述。

如图1所示，根据本实用新型的一个优选实施例的原位成膜的同步辐射掠入射X射线观测装置包括手套箱1、滴胶器2、工作台3和匀胶机4，其中，滴胶器2被设置在手套箱1的顶部以将溶液滴加到匀胶机4上完成旋涂操作，匀胶机4通过工作台3被可移动地设置于手套箱1的内部。