[实用新型]保险丝结构及存储单元有效

专利信息
申请号: 202021061805.4 申请日: 2020-06-09
公开(公告)号: CN212907739U 公开(公告)日: 2021-04-06
发明(设计)人: 王炜槐 申请(专利权)人: 杰华特微电子(杭州)有限公司
主分类号: H01L27/112 分类号: H01L27/112;H01L23/525
代理公司: 杭州钤韬知识产权代理事务所(普通合伙) 33329 代理人: 唐灵;赵杰香
地址: 310030 浙江省杭州市西湖区三墩镇*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 保险丝 结构 存储 单元
【说明书】:

发明提出了一种保险丝结构,包括一编程晶体管以及一第一接触孔,编程晶体管包括:一衬底;一第一阱区,配置在衬底上;一第一电极区,配置于第一阱区上;一第二电极区,配置于第一阱区上,与第一电极区相对设置;一控制电极,配置于第一电极区、第二电极区间,用于接收一控制信号,以控制第一电极区与第二电极区电连接;第一接触孔,用以配置为保险丝接触孔,设置在编程晶体管的第一电极区上。还提出一种存储单元,包括上述的保险丝结构。本发明的保险丝结构及存储单元,由于保险丝结构只需要一个晶体管,不需要多晶硅电阻,即能实现编程与读取,由于没有了多晶硅电阻,不仅减小了编程时通路的阻抗,还可以进一步缩小编程晶体管的尺寸,同时减少了存储单元的整体面积。

技术领域

本实用新型涉及半导体领域,更具体地,涉及一种保险丝结构及存储单元。

背景技术

OTP(一次性可编程存储单元)是集成电路中常用的技术。该项技术不需要额外的层次或工艺制造步骤,就可实现在芯片出厂后的精度调整或客户定制。其基本原理是通过破坏金属保险丝、多晶硅保险丝,击穿氧化层或者浮空栅捕获电荷等方式对芯片进行调整。

现有技术中,破坏多晶硅保险丝或者金属保险丝是最常用的技术手段。但由于破坏多晶硅保险丝或者金属保险丝需要较大的电流,每一位(bit)存储单元均需要一个尺寸较大的烧写MOS管。因此芯片的尺寸会增大,成本会变高。

近年来,接触孔保险丝或者通孔保险丝被提出,其烧写时所需的电流可以比多晶硅保险丝或者金属保险丝小很多(同工艺下约小了一个数量级)。因此每一bit存储单元所需烧写MOS管的尺寸也会很小很多,芯片尺寸可以减小。

参考图1,图1为常规的接触孔保险丝结构的版图示意图,图2为图1所示的接触孔保险丝结构的剖面示意图。

如图1、2所示,接触孔保险丝结构,包括一个MOS管110和一个多晶硅电阻结构120。MOS管110包括漏极111、源极112(N+)、体端P+、栅极 113,其中,源极112构成接触孔保险丝结构的阴极;多晶硅电阻结构120包括多晶硅电阻121、接触孔W1、阳极122,其中,多晶硅电阻121一端连接于漏极111、另一端连接于阳极122,接触孔W1位于多晶硅电阻121靠近漏极111一侧。

在烧写过程中,将阳极122和阴极之间偏置较高的电压,通过控制栅极 113电位来控制左侧MOS管110的开启从而在接触孔W1中通过大电流将其烧毁,使得这条通路的阻抗变大,将使W1处拥有最弱的电流能力。经过这样一次烧写,读取过程时,同样将左侧MOS管110开启,在阳极和阴极之间偏置较小的电压,以实现读取。

但是,对于如图1所示的接触孔保险丝结构,仍然需要一个多晶硅电阻,必然将影响存储单元的尺寸。

因此,提供一种接触孔保险丝结构及存储单元,以进一步缩小尺寸,是本领域亟待解决的问题。

发明内容

有鉴于此,本实用新型提供了一种保险丝结构及存储单元,解决了现有技术中保险丝结构尺寸的技术问题。

一方面,本实用新型提出了一种保险丝结构,包括:

一编程晶体管,所述编程晶体管包括:

一衬底;

一第一阱区,配置在所述衬底上;

一第一电极区,配置于所述第一阱区上;

一第二电极区,配置于所述第一阱区上,与所述第一电极区相对设置;

一控制电极,配置于所述第一电极区、所述第二电极区间,用于接收一控制信号,以控制所述第一电极区与所述第二电极区电连接;以及

一第一接触孔,用以配置为保险丝接触孔,设置在所述编程晶体管的所述第一电极区上。

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