[实用新型]保险丝结构及存储单元有效
申请号: | 202021061805.4 | 申请日: | 2020-06-09 |
公开(公告)号: | CN212907739U | 公开(公告)日: | 2021-04-06 |
发明(设计)人: | 王炜槐 | 申请(专利权)人: | 杰华特微电子(杭州)有限公司 |
主分类号: | H01L27/112 | 分类号: | H01L27/112;H01L23/525 |
代理公司: | 杭州钤韬知识产权代理事务所(普通合伙) 33329 | 代理人: | 唐灵;赵杰香 |
地址: | 310030 浙江省杭州市西湖区三墩镇*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 保险丝 结构 存储 单元 | ||
本发明提出了一种保险丝结构,包括一编程晶体管以及一第一接触孔,编程晶体管包括:一衬底;一第一阱区,配置在衬底上;一第一电极区,配置于第一阱区上;一第二电极区,配置于第一阱区上,与第一电极区相对设置;一控制电极,配置于第一电极区、第二电极区间,用于接收一控制信号,以控制第一电极区与第二电极区电连接;第一接触孔,用以配置为保险丝接触孔,设置在编程晶体管的第一电极区上。还提出一种存储单元,包括上述的保险丝结构。本发明的保险丝结构及存储单元,由于保险丝结构只需要一个晶体管,不需要多晶硅电阻,即能实现编程与读取,由于没有了多晶硅电阻,不仅减小了编程时通路的阻抗,还可以进一步缩小编程晶体管的尺寸,同时减少了存储单元的整体面积。
技术领域
本实用新型涉及半导体领域,更具体地,涉及一种保险丝结构及存储单元。
背景技术
OTP(一次性可编程存储单元)是集成电路中常用的技术。该项技术不需要额外的层次或工艺制造步骤,就可实现在芯片出厂后的精度调整或客户定制。其基本原理是通过破坏金属保险丝、多晶硅保险丝,击穿氧化层或者浮空栅捕获电荷等方式对芯片进行调整。
现有技术中,破坏多晶硅保险丝或者金属保险丝是最常用的技术手段。但由于破坏多晶硅保险丝或者金属保险丝需要较大的电流,每一位(bit)存储单元均需要一个尺寸较大的烧写MOS管。因此芯片的尺寸会增大,成本会变高。
近年来,接触孔保险丝或者通孔保险丝被提出,其烧写时所需的电流可以比多晶硅保险丝或者金属保险丝小很多(同工艺下约小了一个数量级)。因此每一bit存储单元所需烧写MOS管的尺寸也会很小很多,芯片尺寸可以减小。
参考图1,图1为常规的接触孔保险丝结构的版图示意图,图2为图1所示的接触孔保险丝结构的剖面示意图。
如图1、2所示,接触孔保险丝结构,包括一个MOS管110和一个多晶硅电阻结构120。MOS管110包括漏极111、源极112(N+)、体端P+、栅极 113,其中,源极112构成接触孔保险丝结构的阴极;多晶硅电阻结构120包括多晶硅电阻121、接触孔W1、阳极122,其中,多晶硅电阻121一端连接于漏极111、另一端连接于阳极122,接触孔W1位于多晶硅电阻121靠近漏极111一侧。
在烧写过程中,将阳极122和阴极之间偏置较高的电压,通过控制栅极 113电位来控制左侧MOS管110的开启从而在接触孔W1中通过大电流将其烧毁,使得这条通路的阻抗变大,将使W1处拥有最弱的电流能力。经过这样一次烧写,读取过程时,同样将左侧MOS管110开启,在阳极和阴极之间偏置较小的电压,以实现读取。
但是,对于如图1所示的接触孔保险丝结构,仍然需要一个多晶硅电阻,必然将影响存储单元的尺寸。
因此,提供一种接触孔保险丝结构及存储单元,以进一步缩小尺寸,是本领域亟待解决的问题。
发明内容
有鉴于此,本实用新型提供了一种保险丝结构及存储单元,解决了现有技术中保险丝结构尺寸的技术问题。
一方面,本实用新型提出了一种保险丝结构,包括:
一编程晶体管,所述编程晶体管包括:
一衬底;
一第一阱区,配置在所述衬底上;
一第一电极区,配置于所述第一阱区上;
一第二电极区,配置于所述第一阱区上,与所述第一电极区相对设置;
一控制电极,配置于所述第一电极区、所述第二电极区间,用于接收一控制信号,以控制所述第一电极区与所述第二电极区电连接;以及
一第一接触孔,用以配置为保险丝接触孔,设置在所述编程晶体管的所述第一电极区上。
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H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
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