[实用新型]真空吸附平台及装置

权利要求书

1.一种真空吸附平台，其特征在于，包括底座(11)、凸台(12)及吸板(13)；所述底座(11)具有一连通的真空腔(111)；所述凸台(12)设置于所述真空腔(111)内；所述吸板(13)设置于所述底座(11)，所述吸板(13)具有吸附孔(131)，所述吸附孔(131)连通所述真空腔(111)。

2.根据权利要求1所述的真空吸附平台，其特征在于，所述凸台(12)等间隔设置于所述真空腔(111)内。

3.一种真空吸附装置，其特征在于，包括权利要求1-2任一项所述的真空吸附平台及安装座(15)；所述真空吸附平台设置于所述安装座(15)。

4.根据权利要求3所述的真空吸附装置，其特征在于，还包括负压机构(2)及正压机构(3)；所述负压机构(2)与所述正压机构(3)均连通所述真空吸附平台的真空腔(111)。

5.根据权利要求4所述的真空吸附装置，其特征在于，所述负压机构(2)包括负压产生部(21)；所述负压产生部(21)连通所述真空腔(111)。

6.根据权利要求5所述的真空吸附装置，其特征在于，所述负压机构(2)还包括流体控制器(24)；所述流体控制器(24)连接于所述真空腔(111)与所述负压产生部(21)之间。

7.根据权利要求6所述的真空吸附装置，其特征在于，所述负压机构(2)还包括过滤器(23)；所述过滤器(23)连接于所述负压产生部(21)与所述流体控制器(24)之间。

8.根据权利要求7所述的真空吸附装置，其特征在于，所述负压机构(2)还包括第一储气罐(22)；所述第一储气罐(22)分别连通所述过滤器(23)与所述负压产生部(21)。

9.根据权利要求4所述的真空吸附装置，其特征在于，所述正压机构(3)包括正压产生部(31)、第二储气罐(32)及电磁阀(33)；所述第二储气罐(32)连接所述正压产生部(31)；所述电磁阀(33)连接所述第二储气罐(32)与所述真空腔(111)。

10.根据权利要求3所述的真空吸附装置，其特征在于，所述真空吸附平台连接有压力表(14)。