[实用新型]一种太阳能电池片处理设备有效
申请号: | 202021056775.8 | 申请日: | 2020-06-10 |
公开(公告)号: | CN212676292U | 公开(公告)日: | 2021-03-09 |
发明(设计)人: | 朱俊;朱凡;黄海平;李志刚;陆红艳 | 申请(专利权)人: | 帝尔激光科技(无锡)有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人: | 王丹 |
地址: | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 处理 设备 | ||
本实用新型提供一种太阳能电池片处理设备,包括激光装置、载物台和控温装置;其中,所述的载物台用于放置太阳能电池片,所述的控温装置对太阳能电池片控温,激光装置设置在载物台上太阳能电池片的上方;所述的激光装置包括激光器和激光整形装置,激光器发出的激光经激光整形装置进行平顶整形得到一定尺寸,覆盖所述载物台上的太阳能电池片。通过采用本设备,只需要配备不同的设备参数,即可分别完成光衰和界面缺陷修复的工艺,大大减少了太阳能电池的光衰时间,地提高工作效率,也提高了界面修复效果。
技术领域
本实用新型属于太阳能电池片加工领域,具体涉及一种太阳能电池片处理设备。
背景技术
为保证太阳电池的品质,光衰率是一个必须频繁抽检的指标之一。但是每次数个小时的辐照,占有较长时间,很难做到检验结果的及时化;另外由于金卤灯和氙灯的光比较分散,照射到太阳能电池片表面的光只有光源总辐照的很少一部分,因此必须使用多根金卤灯或氙灯管同时照射,才能使太阳能电池片表面的辐照功率达到1kW/m2,因此常规光衰炉的能耗很高。并且,金卤灯或氙灯光源的使用寿命一般在2个月,需要频繁地更换灯管,维护成本较高。
表面钝化技术是硅基太阳能电池片中重要的技术,表面钝化在硅基太阳能电池片的应用中,能够有效的提升太阳能的转化效率,而太阳能电池片的界面往往富聚不少缺陷,会捕获载流子并使其复合,损害到器件的电性能。业界在修复界面缺陷方面取得不少进展,如S.DeWolf et.al.,Appl.phys.lett.93(2008) 032101发现在一个sun的光强下进行长时间退火有助于硅基太阳能器件界面缺陷密度的下降,Kobayashi E et.al.,EPFL,SolEnerg Mat Sol C2017:173:43-9发现32度一个sun的照度长时间光照下,硅基太阳能器件界面缺陷得到部分修复。但这些发现或处理方法要么光强太弱,处理时间太长,要么增加额外装置,增加生产成本,效果有限。
目前,光衰和界面缺陷的修复采用的设备处理时间长,生产和维护成本高,且是不同的设备和工艺来完成。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是:提供一种太阳能电池片处理设备,处理时间短,生产和维护成本低,能够兼具光衰和界面缺陷修复两种工艺处理功能。
本实用新型为解决上述技术问题所采取的技术方案为:
一种太阳能电池片处理设备,其特征在于:本设备包括激光装置、载物台和控温装置;其中,所述的载物台用于放置太阳能电池片,所述的控温装置对太阳能电池片控温,激光装置设置在载物台上太阳能电池片的上方;所述的激光装置包括激光器和激光整形装置,激光器发出的激光经激光整形装置进行平顶整形得到一定尺寸,覆盖所述载物台上的太阳能电池片。
按上述设备,所述的激光整形装置为光学衍射器件或光纤激光匀化器。
按上述设备,所述控温装置为设置在载物台上的控温板;或设置在载物台外的控温腔。
按上述设备,本设备还包括向载物台上料的上料装置和/或向载物台下料的下料装置。
按上述设备,所述载物台包含3个工位,按照加工顺序依次为上料工位、激光照射工位和下料工位;
所述激光装置设置在激光照射工位上方,所述控温装置设置在激光照射工位;
所述上料装置配置为对上料工位上料,所述下料工位配置为对下料工位下料。
按上述设备,所述上料工位、激光照射工位和下料工位周向布设,由至少3个台面通过旋转机构旋转到达。
按上述设备,所述上料工位、激光照射工位和下料工位在传送带上依次排列,通过传送带传送到达。
按上述设备,还包括设置在上料工位和激光照射工位之间的预热工位,由4个台面通过旋转机构旋转到达,所述预热工位上设置有加热装置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的